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C-33型 4英寸 國產(chǎn)高精度對準(zhǔn)光刻機(jī)

參考價(jià) 99
訂貨量 ≥1
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

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      北京長恒榮創(chuàng)科技有限公司是一家專業(yè)的光學(xué)顯微鏡提供商,是一家以生產(chǎn)、研發(fā)、銷售高品質(zhì)顯微鏡的科技公司,公司經(jīng)營的主要產(chǎn)品有:倒置顯微鏡,倒置金相顯微鏡,正置金相顯微鏡,偏光顯微鏡,熒光顯微鏡,數(shù)碼顯微鏡產(chǎn)品及各種分析處理軟件。我公司產(chǎn)品廣泛用于機(jī)械、電子、冶金、化工、航空、天文、輕工、農(nóng)業(yè)等各行業(yè)和科研、教育、國防等部門, 企業(yè)產(chǎn)品遍及國內(nèi)外,深受國內(nèi)外廠家及客商的歡迎。

 

      公司面向現(xiàn)代光學(xué)技術(shù)*的應(yīng)用領(lǐng)域,秉承“以客戶需求為基本出發(fā)點(diǎn)”的宗旨,堅(jiān)持“制定科學(xué)設(shè)計(jì)方案,提供*產(chǎn)品,構(gòu)建完善售后服務(wù)”的原則,竭誠歡迎光學(xué)儀器領(lǐng)域中的有相當(dāng)專長的人士和機(jī)構(gòu)進(jìn)行各種形式的合作。

 

奧林巴斯顯微鏡、徠卡顯微鏡、

光強(qiáng) ≤20mw 曝光面積 100mm×100mm
曝光強(qiáng)度 ≥30mW/cm2可調(diào) 紫外光源壽命 ≥2萬小時(shí)
用途 中小規(guī)模集成電路 半導(dǎo)體元器件

C-33型 4英寸 國產(chǎn)高精度對準(zhǔn)光刻機(jī)

C-33型 4英寸 國產(chǎn)高精度對準(zhǔn)光刻機(jī)

主要用途  主要用于中小規(guī)模集成電路、半導(dǎo)體元器件、聲表面波器件的研制和生產(chǎn)。

 由于本機(jī)找平機(jī)構(gòu)先進(jìn),找平力小、使本機(jī)適合硅片、玻璃片、陶瓷片、銅片、不銹鋼片、寶石片等的曝光。

(1) 這是一臺雙面對準(zhǔn)單面曝光的光刻機(jī);

(2) 這臺機(jī)器又能完成普通光刻機(jī)的任何工作;

(3) 同時(shí)又是一臺檢查雙面對準(zhǔn)精度的檢查儀。

C-33型 4英寸 國產(chǎn)高精度對準(zhǔn)光刻機(jī)主要性能指標(biāo)

(1) 高均勻性LED曝光頭。

 光強(qiáng)≤20mw;曝光面積:100mm×100mm

 曝光不均勻性≤3%

 曝光強(qiáng)度≥30mW/cm2可調(diào)

 紫外光束角≤3°

 紫外光中心波長365nm、404nm、435nm可選

 紫外光源壽命:≥2萬小時(shí)

 電子快門精準(zhǔn)控制

 對準(zhǔn)精度1微米、曝光精度1微米、套刻精度1微米

(2) 觀察系統(tǒng)為上下各兩個(gè)單筒顯微鏡上裝四個(gè)CCD攝像頭通過視屏線連接計(jì)算機(jī)到液晶顯視屏上。

a、 單筒顯微鏡為0.7X~4.5X連續(xù)變倍顯微鏡;

b、 CCD攝像機(jī)靶面對角線尺寸為:1/3″,6mm;

c、 采用19″液晶監(jiān)視器,其數(shù)字放大倍率為19÷1/3=57倍;

d、 觀察系統(tǒng)放大倍數(shù)為:0.7×57≈40倍(最小倍數(shù))

   4.5×57≈256(最大倍數(shù))或(91倍~570倍)

e、 右表板上有一視屏轉(zhuǎn)換開關(guān):向左為下二個(gè)CCD,向右為上二個(gè)CCD。

(3) 計(jì)算機(jī)硬軟件系統(tǒng):

a、鼠標(biāo)單擊“開始對準(zhǔn)”,能將監(jiān)視屏上的圖形記憶下來,并處理成透明的,以便對新進(jìn)入的圖形進(jìn)行對準(zhǔn);

b、鼠標(biāo)雙擊左面或右面圖形,就分別全屏顯示左或右面圖形。

(4) 非常特殊的板架裝置:

a、該裝置能分別裝入152×152板架,對版進(jìn)行真空吸附;

b、該裝置安裝在機(jī)座上,能圍繞A點(diǎn)作翻轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng),相對于承片臺而言作上下翻轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng),以便于上下版和上下片;

c、該裝置來回反復(fù)翻轉(zhuǎn),回到承片臺上平面的位置,重復(fù)精度為≤±1.5µ;

d、該裝置具有補(bǔ)償基片楔形誤差之功能,保證版下平面與片上平面之良好接觸,以便提高曝光質(zhì)量。

(5) 承片臺調(diào)整裝置:

a、 配備有Φ75、Φ100承片臺各一個(gè),這二種承片臺有二個(gè)長方孔,下面二個(gè)CCD通過該孔能觀察到版或片的下平面;

b、 承片臺能作X、YZ、θ運(yùn)動(dòng),X、Y、Z可作±5mm運(yùn)動(dòng),θ運(yùn)動(dòng)為±5°;

c、 承片臺密著環(huán)相對于版,能實(shí)現(xiàn)“真空密著”:

真空密著力≤-0.05Mpa為硬接觸;

真空密著力≤-0.05Mpa~-0.02Mpa為軟接觸;

          真空密著力≤-0.02Mpa為微力接觸;





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