光電檢測作為光學(xué)與電子學(xué)相結(jié)合而產(chǎn)生的一門新興檢測技術(shù)，具有精度高、速度快、非接觸、壽命長、易于自動化和智能化等優(yōu)點(diǎn)。其主要通過光學(xué)系統(tǒng)把待檢測的非電量信息變換成為便于接受的光學(xué)信息，然后用光電探測器件將光學(xué)信息量轉(zhuǎn)換為電信號輸，從而了解待檢測物的光電性能。基于光電掃描測量技術(shù)的多模態(tài)光電檢測顯微鏡，兼容了極紫外-太赫茲波段的激發(fā)光源，通過振鏡和電動位移臺相結(jié)合的掃描方式，可以在亞微米分辨率下，實現(xiàn)待測物在變溫環(huán)境中的光電流和光電壓、拉曼光譜、熒光壽命等多種特征信號的測試，從而實現(xiàn)在多個維度對待測物進(jìn)行相應(yīng)的光電表征。當(dāng)前，由于多模態(tài)光電檢測顯微鏡具有高度靈活的測試維度和兼容眾多主流和儀器儀表，使其被廣泛應(yīng)用于科學(xué)研究、光伏器件檢測、材料微加工和激光改性、定制化檢測等眾多領(lǐng)域。

燭龍™系列中的光電分析和微加工設(shè)備-多模態(tài)光電顯微鏡是一臺具有超高穩(wěn)定性的多功能光電綜合測試和微加工系統(tǒng)，可根據(jù)客戶需求提供多種靈活可選的配置和方案。系統(tǒng)集成了電動運(yùn)動臺和振鏡的掃描方式，可實現(xiàn)瞬態(tài)和穩(wěn)態(tài)下的光電流測試和掃描成像，熒光壽命測試和掃描成像，拉曼光譜測試，二次諧波測試，熒光光譜采集，發(fā)射和吸收等光譜端的測試和掃描成像。除此之外，整套系統(tǒng)可搭配飛秒脈沖激光器和我司自主研發(fā)的低溫系統(tǒng)進(jìn)行相關(guān)的變溫測試以及器件表面的微加工和缺陷標(biāo)記。多模態(tài)光電顯微鏡將為眾多新質(zhì)生產(chǎn)力領(lǐng)域提供強(qiáng)大的支持，助力國內(nèi)相關(guān)領(lǐng)域的發(fā)展和科技創(chuàng)新。

燭龍™系列光電分析和微加工設(shè)備-多模態(tài)光電顯微鏡產(chǎn)品亮點(diǎn)：

超寬的多波長激發(fā)光源

- 極紫外-太赫茲波段的超寬譜線覆蓋范圍(266nm-0.8THz)

- 多種可選的穩(wěn)態(tài)光源和瞬態(tài)光源

- 提供激光功率和頻率的軟件控制

多功能測試樣平臺

- 支持直流，交流以及高頻探針（漏電流<100fA）

- 支持常溫和變溫下的引線鍵合測試（10K-450K）

- 支持常溫和變溫下的探針測試（77K-450K）

- 兼容2450，4200，6221等多種源表

- 兼容OE1201，SR810等多種鎖相放大器

多功能測試和微加工模組

- 支持光電流測試和掃描成像

- 支持二次諧波和電致發(fā)光測試

- 支持器件表面的微加工和缺陷標(biāo)記

- 支持電動位移臺和振鏡的多種掃描方式

- 支持熒光壽命和拉曼光譜測試和掃描成像

系統(tǒng)高度自動化

- 電動顯微聚焦

- 多種可選的光采集模式

- 瞬態(tài)和穩(wěn)態(tài)光源和光路的電動切換

- 線偏振光和圓偏振光的電動偏振測試