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快速退火爐RTP

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公司主要銷售實驗室儀器儀表、實驗室儀器設(shè)備、散熱材料、增材制造設(shè)備、電氣設(shè)備、電子產(chǎn)品、通訊器材、機械配件、通訊器材、電腦軟硬件、機械配件、非標(biāo)自動化設(shè)備、五金工具、實驗耗材和試劑(不含危險化學(xué)品)、激光儀器及輔助設(shè)備;

電氣設(shè)備、信息系統(tǒng)設(shè)計、集成;工程管理服務(wù);單晶硅、碳化硅、立方氮化硼、石墨烯、石墨炔、碳納米管技術(shù)開發(fā)、技術(shù)轉(zhuǎn)讓和檢驗檢測服務(wù);

計算機軟硬件及輔助設(shè)備、信息系統(tǒng)軟件、非標(biāo)自動化設(shè)備的租賃和維修;

銷售醫(yī)療器械、文化辦公用品、五金交電、機械設(shè)備、監(jiān)控設(shè)備、建筑材料、裝飾材料、辦公室用品;第二類醫(yī)療器械經(jīng)營、第三類醫(yī)療器械經(jīng)營;依托進口核心產(chǎn)品做研發(fā):

團隊是由深圳大學(xué)從事材料,光學(xué),生物團隊組成,目前核心創(chuàng)始人3位,分別負(fù)責(zé)材料,生物和光電領(lǐng)域,分別提供相應(yīng)配套設(shè)施以及技術(shù)解決方案等;業(yè)務(wù)目前主要覆蓋東莞,深圳,惠州,廣州等整個廣東地區(qū),可快速抵達廣東所在區(qū)域提供技術(shù)支持和服務(wù)。

目前典型服務(wù)客戶有:清華大學(xué)深圳國際研究生院,哈爾濱工業(yè)大學(xué)(深圳),南方科技大學(xué),深圳大學(xué),深圳技術(shù)大學(xué),北京大學(xué)深圳研究生院,松山湖材料實驗室,大灣區(qū)大學(xué)(籌),東莞理工學(xué)院,中山大學(xué),暨南大學(xué),華南理工大學(xué),廣東工業(yè)大學(xué)等

純水機,離心機,旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)儀,光譜儀,質(zhì)譜儀,頻譜儀,示波器,掃描電子顯微鏡,電化學(xué)工作站,,流式細胞儀,手套箱,磁控濺射

v 主要功能:快速熱退火,快速熱氧化,快速熱氮化,擴散,化合物半導(dǎo)體退火,離子注入后退火,電極合金化等

v 樣片尺寸:8inch,向下兼容,支持不規(guī)整樣品退火

v 退火溫度范圍:室溫~1200 ℃。

v 室溫到1000度,升溫速率120 ℃/second

v 全程熱電偶測溫,不使用高溫計,無需額外校準(zhǔn)

v 退火溫度的重復(fù)性、準(zhǔn)確性± 1 ℃

v 兩路工藝氣體,MFC流量計控制,流量為0-5NLM

v 可通入氮氣、氧氣,可以分別通入或者通入混合氣體

v 可選擇真空退火模式,真空度可達10^-6hpa

v 配置前級泵,抽速3L/s,極限壓力4*10-2pa

v SPS SIMATIC 軟件控制工藝過程,可編程序不少于50個,且每個程序可編程步驟不少于50


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