產(chǎn)品簡(jiǎn)介：基于差動(dòng)電容原理，以石英基膜為感壓元件，石英基膜兩側(cè)感應(yīng)外界輸入的兩路壓力，當(dāng)外界兩路壓力發(fā)生改變時(shí)，感壓膜發(fā)生應(yīng)變，從而使感壓膜與上、下電極構(gòu)成的差動(dòng)電容發(fā)生改變，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)壓力測(cè)量。產(chǎn)品為數(shù)字輸出，外形小巧，適用對(duì)功耗有低要求的壓力測(cè)量應(yīng)用場(chǎng)景。

           產(chǎn)品特點(diǎn)：以石英晶體材料作為敏感單元，感知壓力變換的高精度壓力傳感器。與金屬基和陶瓷基壓力傳感器相比，具有體積小、集成度高的優(yōu)點(diǎn)；與硅基壓力傳感器相比，具有溫漂系數(shù)小、穩(wěn)定性高的優(yōu)勢(shì)。

石英薄膜作為感壓?jiǎn)卧ㄟ^(guò)感壓膜應(yīng)變引起的振梁頻率變化來(lái)感知壓力。我們的技術(shù)方案基于以下三個(gè)方面的技術(shù)經(jīng)驗(yàn)：

石英加工技術(shù)：采用石英晶體材料作為壓力傳感器的核心元件，晨晶深耕水晶多年，具有深厚技術(shù)積淀和QMEMS加工線。

傳感器檢測(cè)技術(shù)：壓力傳感器的精度與電路檢測(cè)和補(bǔ)償能力直接相關(guān)，晨晶在MEMS傳感器領(lǐng)域開發(fā)多年，具有石英諧振信號(hào)檢測(cè)技術(shù)。

IC技術(shù)：壓力傳感器的發(fā)展趨勢(shì)是小型化、ASIC集成化，公司有專業(yè)的ASIC設(shè)計(jì)團(tuán)隊(duì)，是壓力傳感器后續(xù)占有工業(yè)領(lǐng)域市場(chǎng)的基礎(chǔ)。