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172nm準分子燈設備將化學上結合產(chǎn)生不了分子的疝氣等稀有氣體封在石英里，施加電壓進行放電，原子激化與其他原子結合產(chǎn)生分子。

E + Xe → e + Xe*Xe* + Xe + Xe → Xe2* + Xe被激發(fā)出來的的激元分子(Xe2*)回到原本的狀態(tài)(基底)時發(fā)出172nm単一波長的紫外光。172nm光子能量比大多數(shù)的物質分子結合能量要大。出現(xiàn)光子能量比分子結合力大的時候，僅通過光子的作用就能切斷分子。

172nm準分子燈設備特點為：瞬間點燈、滅燈、不使用水銀無需點燈穩(wěn)定期、就可以瞬間點燈和滅燈是不使用水銀的環(huán)保型UV燈●低溫處理不會產(chǎn)生其它波長的光，工件溫度幾乎不會升高●高光能量172nm?166kcal/mol.?7.2eV的高光能可以短時間內進行表面改質●無損傷通過光子的作用分解分子結合，不會產(chǎn)生像電暈處理和等離子處理的顆粒和粉塵。基本不會對對基材放電，不會產(chǎn)生物理上的損傷。

有效長 150～1700mm以上 1根～數(shù)根根據(jù)必要的有效長度、數(shù)量，可以1cm為單位長度制作●照度控制功能燈的各燈的照度分開控制功能。●照射面一側沒有電極，無電極構造燈座兼有外部電極，不需要通常燈照射面上必要的網(wǎng)眼和格子狀電極。不會有光的遮擋、損失、衰減同時也不會出現(xiàn)隨著使用時間而產(chǎn)生照度低下的問題●不需要氮氣即使沒有氮氣也可以處理。使用氮氣時時通過燈座縫隙噴射氮氣，可以大幅削減使用量●RF放電方式 沒有閃爍的超高照度燈管70mW/c㎡, 120mW/c㎡, 170mW/c㎡以上也有超過200mW/c㎡的超高照度燈