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半導(dǎo)體計(jì)量透射電鏡 Metrios AX TEM

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       賽默飛世爾科技賽默飛世爾科技(紐約證交所代碼:TMO)是科學(xué)服務(wù)領(lǐng)域的世界領(lǐng)導(dǎo)者。公司年銷售額超過250億美元。在全球擁有約70,000名員工。我們的使命是攜手客戶,讓世界更健康、更清潔、更安全。我們幫助客戶加速生命科學(xué)領(lǐng)域的研究、解決在分析領(lǐng)域所遇到的復(fù)雜問題與挑戰(zhàn),促進(jìn)醫(yī)療診斷發(fā)展、加速藥物上市進(jìn)程、提高實(shí)驗(yàn)室生產(chǎn)力。我們?nèi)虺^75,000名賽默飛員工將借助于一系列行業(yè)領(lǐng)先的品牌Thermo Scientific、Applied Biosystems、Invitrogen、Fisher Scientific、Unity Lab Services和Patheon,為客戶提供另想的創(chuàng)新技術(shù)、便捷采購方案和全方位服務(wù)。

      欲了解更多信息,請瀏覽公司網(wǎng)站:www.thermofisher.com 賽默飛世爾科技中國簡介賽默飛世爾科技進(jìn)入中國發(fā)展已超過35年,在中國的總部設(shè)于上海,并在北京、廣州、香港、成都、沈陽、西安、南京、武漢、昆明等地設(shè)立了分公司,員工人數(shù)約為5000名。我們的產(chǎn)品主要包括分析儀器、實(shí)驗(yàn)室設(shè)備、試劑、耗材和軟件等,提供實(shí)驗(yàn)室綜合解決方案,為各行各業(yè)的客戶服務(wù)。為了滿足中國市場的需求,現(xiàn)有7家工廠分別在上海、北京、蘇州和廣州等地運(yùn)營。我們在全國還設(shè)立了8個應(yīng)用開發(fā)中心以及示范實(shí)驗(yàn)室,將世界級的前沿技術(shù)和產(chǎn)品帶給中國客戶,并提供應(yīng)用開發(fā)與培訓(xùn)等多項(xiàng)服務(wù);擁位于上海的中國創(chuàng)新中心,擁有有100多位專業(yè)研究人員和工程師及70多項(xiàng)專利。創(chuàng)新中心專注于針對垂直市場的產(chǎn)品研究和開發(fā),結(jié)合中國市場的需求和國外先進(jìn)技術(shù),研發(fā)適合中國的技術(shù)和產(chǎn)品;我們擁有遍布全國的維修服務(wù)網(wǎng)點(diǎn)和特別成立的中國技術(shù)培訓(xùn)團(tuán)隊(duì),在全國有超過2600名專業(yè)人員直接為客戶提供服務(wù)。我們致力于幫助客戶使世界更健康、更清潔、更安全。

      欲了解更多信息,請登錄網(wǎng)站:www.thermofisher.com 全國服務(wù)熱線:021-61621892公司電子郵箱:sales.china@thermofisher.com

科學(xué)儀器

價格區(qū)間 面議 儀器種類 熱場發(fā)射
應(yīng)用領(lǐng)域 環(huán)保,化工

半導(dǎo)體計(jì)量透射電鏡 Metrios AX TEM

用于半導(dǎo)體計(jì)量和工藝表征的高生產(chǎn)率透射電子顯微鏡

半導(dǎo)體計(jì)量透射電鏡 Metrios AX TEM主要特點(diǎn)

一致、可重復(fù)、精確

全新設(shè)計(jì),提供可重復(fù)的基于 TEM 和 STEM 的成像、分析和具備計(jì)量能力的計(jì)量器。

計(jì)量準(zhǔn)確度

TEM 和 STEM 失真和放大率校正的組合誤差小于 0.75%。

自動化 EDS 和混合計(jì)量

通過自動化獲取和量化 EDS 數(shù)據(jù)。使用關(guān)鍵尺寸元件對比度來擴(kuò)展 STEM。

工作流程連通性

通過樣品制備、提取和成像跟蹤關(guān)鍵工藝數(shù)據(jù)。計(jì)量可離線應(yīng)用,從而極大增加工具采集時間。所有成像和計(jì)量數(shù)據(jù)均整合在基于網(wǎng)絡(luò)的圖像查看器中。


規(guī)格

高壓范圍 (kV)

60-200 kV

信息限度 200 kV (nm)

0.11


未校正

探頭校正*

STEM HAADF 分辨率 (nm) 200 kV

  • ≤ 0.164

  • ≤ 0.083

STEM HAADF 分辨率 (nm) 80 kV

  • ≤ 0.31

  • ≤ 0.11

用于水平和垂直的 MetroCal 晶片的計(jì)量精密度

  • ≤ 0.3 nm 3σ


電子源

  • X-CFEG 或 XFEG


超穩(wěn)定電子設(shè)備和高壓

  • 包含


隔音罩

  • 包含


恒定功率透鏡

  • 包含


壓電載物臺

  • 包含


探頭校正器兼容






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