1.材質(zhì)：采用不銹鋼材質(zhì)，耐酸堿，防腐蝕

2.結(jié)構(gòu)：抽屜式樣品臺，取放基片更方便

3.風(fēng)道：預(yù)留進(jìn)氣口，多種清洗設(shè)備連接

4.防護(hù)：抽屜開合與紫外燈聯(lián)鎖，避免紫外燈損壞

5.計(jì)時(shí)器：按鍵計(jì)時(shí)器，數(shù)字倒計(jì)時(shí)，方便查看

6.操作：清洗過程可隨時(shí)手動(dòng)終止

7.配件：可選配臭氧中和器，避免臭氧損壞

8.清洗波段：185nm和254nm

9.距紫外燈3-5mm處平均光強(qiáng)：28~32mW/cm2

10.燈管：雙波低壓汞燈

11.燈管功率：150W

12.照射面積：150mm×200mm

13.照射距離可調(diào)： 5~40mm

14.計(jì)時(shí)范圍：0~99分99秒，具有自動(dòng)倒計(jì)時(shí)功能

15.加熱區(qū)域：室溫-200℃

16.進(jìn)風(fēng)口、出風(fēng)口進(jìn)風(fēng)口：φ8mm，出風(fēng)口：φ25mm

17.設(shè)備外形尺寸250mm（寬）×300mm（深）×260mm（高）

18.托盤外形尺寸：160mm（寬）×200mm（深）×5~30mm（高）

19.產(chǎn)品重量：8KG