HORIBA堀場蒸汽濃度監(jiān)測儀玉科全新供應(yīng)

HORIBA堀場蒸汽濃度監(jiān)測儀玉科全新供應(yīng)

IR-300

蒸汽濃度監(jiān)測儀

金屬有機化學(xué)氣相沉積（MOCVD）工藝廣泛應(yīng)用于發(fā)光二極管、光學(xué)器件和其他組建的制造。通過控制溫度、壓力和載氣流速（鼓泡法），液體和固體化學(xué)品被輸送到反應(yīng)室。IR-300 系列可實時測量和報告化學(xué)品濃度，為用戶帶來以下優(yōu)勢：

• 優(yōu)化制程控制，生產(chǎn)更多高級器件

• 提高器件成品率并減少廢料

• 提高再現(xiàn)性

• 了解何時需要更換鼓泡器

• 延長 MTTA

• 減少非計劃干預(yù)

• 減少高價值的化學(xué)品浪費

• 實時監(jiān)測
  快速響應(yīng)和出色的重復(fù)性允許實時跟蹤蒸汽濃度的變化

• 多重校準(zhǔn)曲線功能（可選）
  允許測量多達 3 種化學(xué)品或量程的濃度

• 多重顯示功能
  IR-300 設(shè)備頂部的多重顯示功能為用戶提供了濃度監(jiān)測和前驅(qū)體供應(yīng)管線狀態(tài)的現(xiàn)場檢查能力

• 通信功能
  通過 DeviceNet™、RS485 和模擬通信連接

• 設(shè)計簡單緊湊
  該設(shè)備的面對面尺寸為 124 毫米，設(shè)計緊湊且不受安裝方向限制，易于集成

高光強和長壽命光源與高速信號處理相結(jié)合，使 IR-300 系列能夠?qū)瘜W(xué)品濃度的變化做出更快、更可重復(fù)的響應(yīng)。這些特性通過實時在線濃度測量，讓用戶真正了解實際制程。