日本Otsuka大塚MINUK光波動(dòng)場(chǎng)三次元顯微鏡
- 公司名稱(chēng) 成都藤田科技有限公司
- 品牌 OTSUKA/日本大塚
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠(chǎng)商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2025/2/21 10:18:33
- 訪(fǎng)問(wèn)次數(shù) 24
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產(chǎn)地類(lèi)別 | 進(jìn)口 | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
日本Otsuka大塚MINUK光波動(dòng)場(chǎng)三次元顯微鏡-成都藤田科技提供
Smart膜厚儀 vs OPTM顯微分光膜厚儀——革新光學(xué)測(cè)量的雙引擎
核心對(duì)比與OPTM優(yōu)勢(shì):
技術(shù)差異化:
OPTM系列:基于分光干涉法,結(jié)合顯微光學(xué)系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)反射率分析,支持超薄膜(1nm)與復(fù)雜多層結(jié)構(gòu),技術(shù)解決透明基板干擾。
Smart膜厚儀:側(cè)重便攜性與快速篩查,適用于常規(guī)單層膜厚測(cè)量,但精度與功能擴(kuò)展性不及OPTM系列。
應(yīng)用場(chǎng)景:
OPTM適用于研發(fā)(R&D)與高精度QC,如半導(dǎo)體晶圓、光學(xué)濾光片;Smart膜厚儀更適合產(chǎn)線(xiàn)快速抽檢。
性?xún)r(jià)比優(yōu)勢(shì):OPTM以中型設(shè)備成本提供媲美橢偏儀的精度,且操作門(mén)檻更低,軟件內(nèi)置NIST校準(zhǔn)追溯,確保數(shù)據(jù)可靠性。
產(chǎn)品信息
特點(diǎn)
可評(píng)價(jià)nm級(jí)的透明的異物?缺陷 一次拍照即可瞬時(shí)獲得深度方向的信息 無(wú)需對(duì)焦,可高速測(cè)量 可非破壞?非接觸?非侵入的測(cè)量 可在任意的面進(jìn)行高速掃描,輕松決定測(cè)量位置
規(guī)格
分辨率 x , y | 6 9 1n m( 一次拍照)、4 8 8 n m( 合成) |
視野 x , y | 7 0 0×7 0 0μm |
分辨率 z | 10nm(相位差) |
視野 z | ±700μm |
樣品尺寸 | 10 0×8 0×t 2 0 mm(安裝通用樣品架時(shí)) |
樣品臺(tái) | 微動(dòng)X Y樣品臺(tái)(自動(dòng)) X:±10 mm Y:±10 mm 粗動(dòng)樣品臺(tái) X:12 9 mm Y:8 5 mm |
激光 | 波長(zhǎng) 6 3 8 nm 輸出 0 .3 9 mW 以下 C la s s1 ( 對(duì)測(cè)量樣品的照射強(qiáng)度) |
尺寸(長(zhǎng)×寬×高)mm | 本體:5 0 5(W)×6 3 0(D)×4 3 9(H) ± 2 0 m m ※不含P C、附屬品 |
重量 | 41k g |
功耗 | 本體:2 9 0 VA ※不含P C、附屬品 |
測(cè)量案例
將肉眼無(wú)法看見(jiàn)的透明薄膜表面可視化?定量化
可以非接觸、非破壞性、非侵入性地獲得nm級(jí)的形狀信息。通過(guò)一次拍照即可獲取深度方向的信息,可以將透明薄膜表面上肉眼不可見(jiàn)的劃痕和缺陷的橫截面形狀數(shù)值化實(shí)現(xiàn)可視化。
觀(guān)察透明薄膜內(nèi)部的填充劑
肉眼無(wú)法看到的透明薄膜內(nèi)部的填充劑,通過(guò)一次拍照即可觀(guān)察到。此外,通過(guò)在測(cè)量后改變深度方向的焦點(diǎn),可以識(shí)別到各個(gè)深度的填充劑。
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