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日本Otsuka大塚FE-5000橢偏儀可在紫外波長(zhǎng)

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 成都藤田科技有限公司
  • 品牌 OTSUKA/日本大塚
  • 型號(hào)
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 代理商
  • 更新時(shí)間 2025/2/22 10:11:01
  • 訪問(wèn)次數(shù) 88

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公司簡(jiǎn)介

COMPANY INTRODUCTION

成都藤田科技有限公司經(jīng)營(yíng)進(jìn)出口業(yè)務(wù)7年有余,位于西南地區(qū)四川成都;通過(guò)不斷努力、進(jìn)步與各類日本、部分歐美品牌建立長(zhǎng)期穩(wěn)定的合作關(guān)系,覆蓋電子產(chǎn)品、工具、電子元器件、儀器儀表、防靜電設(shè)備、輔料、自動(dòng)化設(shè)備、非危險(xiǎn)性化工產(chǎn)品、機(jī)械設(shè)備及配件、通信設(shè)備。

成都藤田科技供貨渠道

因?yàn)殚L(zhǎng)期良好的經(jīng)營(yíng)環(huán)境,獲得國(guó)內(nèi)外客戶與商社的喜愛(ài),隨著互聯(lián)網(wǎng)的發(fā)展建立了專有的網(wǎng)絡(luò)模式MRO;

堅(jiān)持以服務(wù)客戶為主的經(jīng)營(yíng)理念、追求客戶滿意服務(wù)為宗旨、禮貌誠(chéng)信為原則提供客戶服務(wù),并以成為客戶值得信賴的工業(yè)品綜合服務(wù)商為目標(biāo)。

MRO兩種形式

  1. 超市建立工業(yè)品專柜,大型超市也會(huì)經(jīng)營(yíng)部分工業(yè)品,但種類和數(shù)量有限。

  2. 網(wǎng)上工業(yè)品超市,這種形式配送可為客戶大規(guī)模找尋產(chǎn)品,使供應(yīng)商和采購(gòu)商都實(shí)現(xiàn)“進(jìn)入一個(gè)點(diǎn),得到一大片”連鎖效應(yīng),有效降低采購(gòu)商采購(gòu)成本。

代理品牌:

  1. 日本MUSASHI武藏(點(diǎn)膠機(jī)

  2. 日本HOYA豪雅 (UV固化燈,玻璃鏡片)

  3. 日本SIGMAKOKI西格瑪 (光學(xué)元件、物鏡等)

  4. 日本YUMEX優(yōu)美科思(各種疝氣燈)

  5. 日本TOKISANGYO東機(jī)產(chǎn)業(yè)(粘度計(jì)

  6. 日本KANOMAX加野(風(fēng)速儀)

  7. 日本YAMADA雅瑪達(dá)(隔膜泵)

  8. 日本EPSON愛(ài)普生 (機(jī)械臂)

  9. ATTEN安泰信 (焊接產(chǎn)品)

  10. 日本TSUBOSAN壺三(銼刀工具)

  11. 日本sakurai櫻井(無(wú)塵紙

  12. 韓國(guó)DIT東日技研(除靜電產(chǎn)品)

  13. 韓國(guó)HANIL韓一(攪拌機(jī))

優(yōu)勢(shì)品牌:

  1. 日本Otsuka大塚電子(晶圓、覆膜測(cè)厚儀)

  2. 日本FLUORO福樂(lè)(用于晶圓的搬運(yùn))

  3. 日本AND艾安得(微量電子 分析天平)

  4. 英國(guó)Meech密其(非接觸式除塵系統(tǒng))

  5. 日本SSD西西蒂(防靜電設(shè)備)

  6. 日本NEW-COSMOS 新宇宙(氣體檢測(cè)儀

  7. YIZOMO一子沫(拉拔機(jī))

  8. 日本FURUPLA富如拉(噴壺)

  9. 日本PISCO匹士克(氣動(dòng)元件

  10. 日本TECHNO特古羅(錫爐)

  11. 日本AMANO安滿能(除塵設(shè)備)

  12. 日本MALCOM馬康(粘度計(jì))

  13. 日本HOZAN寶山(鑷子、鉗子等工具)

  14. 日本MITUTOYO三豐 (測(cè)量器具)

  15. 美國(guó)SIMCO思美高(防靜電、除塵產(chǎn)品);

成都藤田科技為廣大客戶提供一體化、全面、優(yōu)質(zhì)高效服務(wù)。

 

 

 

進(jìn)出口業(yè)務(wù),日本武藏點(diǎn)膠機(jī),日本豪雅檢測(cè)光源,??狄曈X(jué)成像,安泰信焊錫設(shè)備

產(chǎn)地類別 進(jìn)口 價(jià)格區(qū)間 面議
應(yīng)用領(lǐng)域 綜合

日本Otsuka大塚FE-5000橢偏儀可在紫外波長(zhǎng)-成都藤田科技提供

日本Otsuka大塚FE-5000橢偏儀可在紫外波長(zhǎng)

產(chǎn)品信息

特點(diǎn)

● 可在紫外和可見(jiàn)(250至800nm)波長(zhǎng)區(qū)域中測(cè)量橢圓參數(shù)

● 可分析納米級(jí)多層薄膜的厚度

● 可以通過(guò)超過(guò)400ch的多通道光譜快速測(cè)量Ellipso光譜

● 通過(guò)可變反射角測(cè)量,可詳細(xì)分析薄膜

● 通過(guò)創(chuàng)建光學(xué)常數(shù)數(shù)據(jù)庫(kù)和追加菜單注冊(cè)功能,增強(qiáng)操作便利性

● 通過(guò)層膜貼合分析的光學(xué)常數(shù)測(cè)量可控制膜厚度/膜質(zhì)量


測(cè)量項(xiàng)目

測(cè)量橢圓參數(shù)(TANψ,COSΔ)

光學(xué)常數(shù)(n:折射率,k:消光系數(shù))分析

薄膜厚度分析


用途

半導(dǎo)體晶圓
柵氧化膜,氮化膜
SiO2,SixOy,SiN,SiON,SiNx,Al2O3,SiNxOy,poly-Si,ZnSe,BPSG,TiN
光學(xué)常數(shù)(波長(zhǎng)色散)

復(fù)合半導(dǎo)體
AlxGa(1-x)多層膜、非晶硅

FPD
取向膜
等離子顯示器用ITO、MgO等

各種新材料
DLC(類金剛石碳)、超導(dǎo)薄膜、磁頭薄膜

光學(xué)薄膜
TiO2,SiO2多層膜、防反射膜、反射膜

光刻領(lǐng)域
g線(436nm)、h線(405nm)、i線(365nm)和KrF(248nm)等波長(zhǎng)的n、k評(píng)估


原理

包括s波和p波的線性偏振光入射到樣品上,對(duì)于反射光的橢圓偏振光進(jìn)行測(cè)量。s波和p波的位相和振幅獨(dú)立變化,可以得出比線性偏振光中兩種偏光的變換參數(shù),即p波和S波的反射率的比tanψ相位差Δ。
日本Otsuka大塚FE-5000橢偏儀可在紫外波長(zhǎng)    


產(chǎn)品規(guī)格

型號(hào)

FE-5000

樣品尺寸

200x200毫米

入射(反射)的角度范圍

45至90°

入射點(diǎn)直徑*2

關(guān)于φ1.2sup*3

測(cè)定波長(zhǎng)范圍*5

250至800納米

平臺(tái)驅(qū)動(dòng)方式

手動(dòng)/自動(dòng)

裝載機(jī)兼容

尺寸,重量

1300(W)×900(D)×1750(H)mm
    約350公斤*7

*1可以驅(qū)動(dòng)偏振器,可以分離不感帶有效的位相板。
*2取決于短軸角度。
*3對(duì)應(yīng)微小點(diǎn)(可選)
*4它是使用VLSI標(biāo)準(zhǔn)SiO2膜(100nm)時(shí)的值。
*5可以在此波長(zhǎng)范圍內(nèi)進(jìn)行選擇。
*6光源因測(cè)量波長(zhǎng)而異。
*7選擇自動(dòng)平臺(tái)時(shí)的值。


測(cè)量示例

以梯度模型分析ITO結(jié)構(gòu)[FE-0006]

作為用于液晶顯示器等的透明電極材料ITO(氧化銦錫),在成膜后的退火處理(熱處理)可改善其導(dǎo)電性和色調(diào)。此時(shí),氧氣狀態(tài)和結(jié)晶度也發(fā)生變化,但是這種變化相對(duì)于膜的厚度是逐漸變化的,不能將其視為具有光學(xué)均勻組成的單層膜。
以下介紹對(duì)于這種類型的ITO,通過(guò)使用梯度模型,從上界面和下界面的nk測(cè)量斜率。

日本Otsuka大塚FE-5000橢偏儀可在紫外波長(zhǎng)    

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考慮到表面粗糙度測(cè)量膜厚度值[FE-0008]

當(dāng)樣品表面存在粗糙度(Roughness)時(shí),將表面粗糙度和空氣(air)及膜厚材料以1:1的比例混合,模擬為“粗糙層”,可以分析粗糙度和膜厚度。以下介紹了測(cè)量表面粗糙度為幾nm的SiN(氮化硅)的情況。

   

  

使用非干涉層模型測(cè)量封裝的有機(jī)EL材料[FE-0011]

有機(jī)EL材料易受氧氣和水分的影響,并且在正常大氣條件下它們可能會(huì)發(fā)生變質(zhì)和損壞。因此,在成膜后立即用玻璃密封。以下介紹在密封狀態(tài)下通過(guò)玻璃測(cè)量膜厚度的情況。玻璃和中間空氣層使用非干涉層模型。

日本Otsuka大塚FE-5000橢偏儀可在紫外波長(zhǎng)    

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使用多點(diǎn)相同分析測(cè)量未知的超薄nk[FE-0014]

為了通過(guò)擬合最小二乘法來(lái)分析膜厚度值(d)需要材料nk。如果nk未知,則d和nk都被分析為可變參數(shù)。然而,在d為100nm或更小的超薄膜的情況下,d和nk是無(wú)法分離的,因此精度將降低并且將無(wú)法求出精確的d。在這種情況下,測(cè)量不同d的多個(gè)樣本,假設(shè)nk是相同的,并進(jìn)行同時(shí)分析(多點(diǎn)相同分析),則可以高精度、精確地求出nk和d。

日本Otsuka大塚FE-5000橢偏儀可在紫外波長(zhǎng)    

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