KLA Filmetrics F3-sX薄膜厚度測量儀
參考價 | ¥50000-¥999999/臺 |
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 德國韋氏納米系統(tǒng)(香港)有限公司
- 品牌KLA-Tencor
- 型號
- 所在地香港特別行政區(qū)
- 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
- 更新時間2025/3/10 7:42:31
- 訪問次數(shù) 51
產(chǎn)品標(biāo)簽
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產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 價格區(qū)間 | 50萬-100萬 |
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子/電池,航空航天,汽車及零部件,電氣,綜合 |
KLA Filmetrics F3-sX薄膜厚度測量儀能測量半導(dǎo)體與介電層薄膜厚度到3毫米,而這種較厚的薄膜與較薄的薄膜相比往往粗糙且均勻度較為不佳
波長選配
KLA Filmetrics F3-sX薄膜厚度測量儀系列使用近紅外光來測量薄膜厚度,即使有許多肉眼看來不透光(例如半導(dǎo)體)。 F3-s980 是波長為980奈米的版本,是為了針對成本敏銳的應(yīng)用而設(shè)計,F3-s1310是針對重?fù)诫s硅片的最佳化設(shè)計,F3-s1550則是為了最厚的薄膜設(shè)計。
附件
附件包含自動化測繪平臺,一個影像鏡頭可看到量測點(diǎn)的位置以及可選配可見光波長的功能使厚度測量能力最薄至15奈米。
包含的內(nèi)容:
集成光譜儀/光源裝置
光斑尺寸10微米的單點(diǎn)測量平臺
FILMeasure 8反射率測量軟件
Si 參考材料
FILMeasure 獨(dú)立軟件 (用于遠(yuǎn)程數(shù)據(jù)分析)
型號規(guī)格
型號 厚度范圍 波長范圍 F3-s980 1μm-1mm 960-1000nm F3-s1310 15μm-2mm 1280-1340nm F3-s1550 25μm-3mm 1520-1580nm