KLA Filmetrics F50薄膜厚度測量儀
| 參考價 | ￥50000-￥999999/臺 |
具體成交價以合同協(xié)議為準
- 公司名稱 德國韋氏納米系統(tǒng)（香港）有限公司
- 品牌KLA-Tencor
- 型號
- 所在地香港特別行政區(qū)
- 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
- 更新時間2025/3/10 8:08:33
- 訪問次數(shù) 68
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| 產(chǎn)地類別 | 進口 | 價格區(qū)間 | 50萬-100萬 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 化工,電子/電池,汽車及零部件,電氣,綜合 |
自動化薄膜測繪
KLA Filmetrics F50薄膜厚度測量儀的產(chǎn)品能以每秒測繪兩個點的速度快速的測繪薄膜厚度。一個電動R-Theta 平臺可接受標準和客制化夾盤，樣品直徑可達450毫米。(耐用的平臺在我們的量產(chǎn)系統(tǒng)能夠執(zhí)行數(shù)百萬次的量測!)
測繪圖案可以是極座標、矩形或線性的，您也可以創(chuàng)造自己的測繪方法，并且不受測量點數(shù)量的限制。內(nèi)建數(shù)十種預定義的測繪圖案。
不同的KLA Filmetrics F50薄膜厚度測量儀器是根據(jù)波長范圍來加以區(qū)分的。 標準的 F50是受歡迎的產(chǎn)品。 一般較短的波長 (例如， F50-UV) 可用于測量較薄的薄膜，而較長的波長則可以用來測量更厚、更不平整以及更不透明的薄膜。
包含的內(nèi)容：
集成光譜儀/光源裝置
光纖電纜
4", 6" and 200mm 參考晶圓
TS-SiO2-4-7200 厚度標準
BK7 參考材料
整平濾波器 (用于高反射基板)
真空泵
備用燈
型號規(guī)格
| 型號 | 厚度范圍 | 波長范圍 |
| F50 | 20nm-70μm | 380-1050nm |
| F50-UV | 5nm-40μm | 190-1100nm |
| F50-NIR | 100nm-250μm | 950-1700nm |
| F50-EXR | 20nm-250μm | 380-1700nm |
| F50-UVX | 5nm-250μm | 190-1700nm |
| F50-XT | 0.2μm-450μm | 1440-1690nm |
| F50-s980 | 4μm-1mm | 960-1000nm |
| F50-s1310 | 7μm-2mm | 1280-1340nm |
| F50-s1550 | 10μm-3mm | 1520-1580nm |
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