Sievers Boron Ultra在線超純水硼分析儀

簡(jiǎn)介

Sievers Boron Ultra在線超純水硼分析儀能對(duì)超純水中硼濃度進(jìn)行連續(xù)、無(wú)人值守的在線監(jiān)測(cè)，靈敏度高達(dá)萬(wàn)億分之一（ppt），每小時(shí)提供20個(gè)數(shù)據(jù)點(diǎn)。該儀器符合初級(jí)和拋光環(huán)路規(guī)范，有助于優(yōu)化離子交換樹脂再生并控制二氧化硅和硼污染。其特點(diǎn)包括最少的維護(hù)需求和豐富的輸出套件，支持國(guó)際器件和系統(tǒng)路線圖（IRDS）設(shè)定的50 ppt硼限值，適用于半導(dǎo)體和微電子行業(yè)的超純水污染控制和合規(guī)性。

其它參數(shù)

濃度范圍：0.010-100 ppb B

定量限 (LOQ)：0.030 ppb B

檢測(cè)限 (LOD)：0.010 ppb B

最小樣品電阻率：15 MΩ-cm

樣品流速：50-400 mL/min

校準(zhǔn)穩(wěn)定期：一般為12個(gè)月

分析模式：在線、平均和在線定時(shí)

分析時(shí)間：3分鐘或6分鐘，由用戶定義

尺寸：54.2高x59.3寬x38深cm

重量：不含消耗品21.75 kg

對(duì)硼進(jìn)行連續(xù)在線監(jiān)測(cè)，靈敏度高達(dá)萬(wàn)億分之一 (ppt)

隨著半導(dǎo)體芯片變得越來(lái)越小、越來(lái)越復(fù)雜，對(duì)高質(zhì)量超純水（UPW）的需求也越來(lái)越高。即使是極其輕微的污染也會(huì)導(dǎo)致嚴(yán)重的缺陷，因此，在微電子制造過(guò)程中及早發(fā)現(xiàn)雜質(zhì)至關(guān)重要。

有何風(fēng)險(xiǎn)？產(chǎn)品產(chǎn)量、下游工藝和不必要的成本。

Sievers Boron Ultra在線超純水硼分析儀可對(duì)超純水工藝中的硼濃度進(jìn)行連續(xù)、無(wú)人值守的在線監(jiān)測(cè)，靈敏度高達(dá)萬(wàn)億分之一（ppt）水平。這有助于符合初級(jí)和拋光環(huán)路規(guī)范，并使制造商能夠優(yōu)化離子交換 (IX) 樹脂床再生的時(shí)間。硼監(jiān)測(cè)是最積極主動(dòng)的IX過(guò)程控制策略，效果遠(yuǎn)遠(yuǎn)優(yōu)于二氧化硅或離子污染監(jiān)測(cè)。

優(yōu)化在線性能和流程

Sievers Boron Ultra在線超純水硼分析儀可顯著降低運(yùn)營(yíng)費(fèi)用，保持超純水系統(tǒng)的質(zhì)量。

Boron Ultra可在二氧化硅泄漏前檢測(cè)到硼含量的增加，是防止膠體和離子二氧化硅滲漏到超純水中的關(guān)鍵工具。它可以用來(lái)預(yù)測(cè)混合床IX樹脂耗盡，優(yōu)化電去離子（EDI）性能，并控制初級(jí)和拋光環(huán)路的污染水平。

Boron Ultra支持國(guó)際器件和系統(tǒng)路線圖（IRDS）為半導(dǎo)體超純水設(shè)定的50 ppt硼限值，支持硼和二氧化硅污染控制。

Sievers Boron Ultra在線超純水硼分析儀是與半導(dǎo)體制造商合作設(shè)計(jì)的，旨在滿足設(shè)備管理人員、超純水系統(tǒng)所有者和超純水工藝控制工程師的需求。硼監(jiān)測(cè)是最為主動(dòng)的離子交換過(guò)程控制策略，遠(yuǎn)遠(yuǎn)優(yōu)于二氧化硅或離子污染監(jiān)測(cè)。

萬(wàn)億分之一 (ppt) 靈敏度

每小時(shí)20個(gè)數(shù)據(jù)點(diǎn)

符合初級(jí)和拋光環(huán)路規(guī)范

優(yōu)化離子交換樹脂再生

二氧化硅和硼污染控制

Boron Ultra的特點(diǎn)與優(yōu)勢(shì)

對(duì)硼進(jìn)行連續(xù)在線監(jiān)測(cè)，靈敏度高達(dá)萬(wàn)億分之一 (ppt)

每小時(shí)20個(gè)數(shù)據(jù)點(diǎn)

符合初級(jí)和拋光環(huán)路規(guī)范

符合UKCA和CE標(biāo)志的所有要求

多流路選項(xiàng) - 提供單流路和雙流路

現(xiàn)代、直觀的圖形用戶界面，配備多色LED背光10.1英寸觸摸屏顯示器

豐富的輸出套件 - 兩個(gè)獨(dú)立的4-20 mA模擬輸出；兩個(gè)報(bào)警輸出；兩個(gè)獨(dú)立的二進(jìn)制輸出；兩個(gè)USB 2.0端口；一個(gè)千兆以太網(wǎng)端口

最少的維護(hù)與耗材需求

應(yīng)用 

半導(dǎo)體和微電子超純工藝 水 / 超純水

污染控制

合規(guī)性

樹脂再生的優(yōu)化

過(guò)程控制