日本CANON ANELVA皮拉尼真空計（鎳絲） M-351PG 
日本CANON ANELVA皮拉尼真空計（鎳絲） M-351PG

該型號使用 Ni 絲來提高耐腐蝕性，并與 RIE 和 CVD 等硬質(zhì)工藝設(shè)備兼容。

1. 提高耐腐蝕性、使用
   Ni 絲等

2. 重現(xiàn)性好，價格低

3. 它可以測量 5×^10-2 Pa 到大氣壓

1. 它可以測量 5×^10-2 Pa 到大氣壓

2. 型　名	M-351PG-SP （Ｎｉフィラメント仕様）（セットポイント付タイプ）
   測定圧力範囲	5×10-2 ～ 1×105 （Pa）
   精度（Pa）	±50％：5×10-2　～　1×10-1 ±15％：1×10-1　～　1×104 ±50％：1×104　～　1×105
   再現(xiàn)性	±2 ％?。骸?×10-1　～　1×104 Pa
   入力電圧	DC+14 ～ 30 V
   消費電力	2 W
   アナログ出力	0 ～ 10 V
   ゲージ認識抵抗値	13 KΩ（D-sub5-9番ピン間）
   セットポイント	2接點出力（1 A 30 V,DC）
   インターフェース	－
   入出力コネクタ	D‐sub9ピン
   最大ケーブル長	200 ｍ（0.34 mm2）対応可能＊1
   使用溫度範囲	5 ～ 60 ℃
   保存溫度範囲	-20 ～ 70 ℃（非動作時）
   ベーキング溫度	＜＋150 ℃（Oリング仕様、ゲージヘッドのみ） ＜＋300 ℃（メタルシール仕様、ゲージヘッドのみ）
   許容過負荷圧力	1 MPa（継手形狀NPTに限る、不活性ガスに限る、絶対圧）
   適合ピラニセンサ型名	MP-2
   フランジ形狀	NW16、NW25、1/8NPT
   センサー材質(zhì)（主要部）	ピラニフィラメント：ニッケル センサーチューブ：ステンレス 導(dǎo)入端子絶縁部：コバールガラス＋Al2O3コート
   対応	CEマーキング、RoHS、IP40

   
   

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主要合作客戶有：中芯(SMIC), 京東方(BOE) ,華星光電(CSOT),天馬（TIANMA）, 歐菲光(O-FILM), 柔宇（ROYOLE） 維信諾(VISIONOX), 豐田（TOYOTA）, SUZUKI(鈴木），比亞迪（BYD）,大疆（DJI）；駿馬精密（ZAMA）等，憑借專業(yè)銷售代理的經(jīng)驗，成熟的產(chǎn)品，贏得了廣大客戶的信任。  

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