EBARA荏原 EV-M干式真空泵

EV-M型可應(yīng)用于在半導(dǎo)體、液晶和太陽能電池制造工藝中有副產(chǎn)物生成的重制程工藝。同時(shí)兼顧了對(duì)重制程工藝和節(jié)能的需求，實(shí)現(xiàn)了停機(jī)風(fēng)險(xiǎn)的減少和運(yùn)行成本的降低。

EBARA荏原 EV-M干式真空泵

通過大范圍的溫度控制，擴(kuò)大了適用工藝范圍。因同一機(jī)型能夠覆蓋多種工藝，能夠優(yōu)化備用設(shè)備的庫存，減少用于維護(hù)和培訓(xùn)的人力時(shí)間，并且能夠靈活應(yīng)對(duì)未來的工藝擴(kuò)展。

產(chǎn)品系列豐富，可應(yīng)對(duì)多種工藝、抽氣速率需求；

●兼顧高負(fù)荷與低功耗；

●可應(yīng)對(duì)腐蝕性氣體（標(biāo)配耐腐蝕材料）。

核心技術(shù)特性

無油設(shè)計(jì)：采用多級(jí)壓縮或爪式/螺桿式轉(zhuǎn)子結(jié)構(gòu)，通過精密機(jī)械密封實(shí)現(xiàn)無油運(yùn)行，避免油蒸氣污染，適合潔凈環(huán)境（如半導(dǎo)體、生物實(shí)驗(yàn)室）。

耐腐蝕材料：核心部件使用不銹鋼、陶瓷涂層或特殊合金，可耐受腐蝕性氣體（如酸性、堿性介質(zhì)）。

高效節(jié)能：優(yōu)化轉(zhuǎn)子動(dòng)力學(xué)設(shè)計(jì)，能耗較傳統(tǒng)油式泵降低30%~50%，支持變頻調(diào)速（20%~100%流量調(diào)節(jié)）。

低維護(hù)成本：無需定期更換油液，維護(hù)周期長(zhǎng)達(dá)8,000~12,000小時(shí)，顯著減少停機(jī)時(shí)間。

用戶體驗(yàn)與核心優(yōu)勢(shì)

潔凈無污染：消除油蒸氣反流問題，保護(hù)工藝介質(zhì)與產(chǎn)品質(zhì)量。

低噪音運(yùn)行：噪聲水平＜65 dB(A)，適合實(shí)驗(yàn)室及潔凈車間環(huán)境。

智能監(jiān)控：集成壓力傳感器與物聯(lián)網(wǎng)模塊，實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)真空度、溫度、振動(dòng)，支持遠(yuǎn)程報(bào)警與故障診斷。

模塊化設(shè)計(jì)：支持多泵并聯(lián)或與分子泵、羅茨泵組成復(fù)合真空系統(tǒng)，覆蓋0.1 Pa~1000 Pa寬范圍真空需求。