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MM-3582L LINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器
| 參考價(jià) | ￥ 25160 |
| 訂貨量 | ≥1件 |
- 公司名稱 高斯摩(成都)國(guó)際貿(mào)易有限公司
- 品牌 LINTEC/琳得科
- 型號(hào) MM-3582L
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間 2025/3/28 14:52:59
- 訪問(wèn)次數(shù) 29
MM-3582L琳得科 MM-3582LLINTEC琳得科質(zhì)量流量控制器進(jìn)口質(zhì)量流量控制器
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主要經(jīng)營(yíng)光學(xué)設(shè)備、電子計(jì)測(cè)、科學(xué)儀器、機(jī)械加工設(shè)備、環(huán)境試驗(yàn)設(shè)備、PC周邊用品、作業(yè)工具用品、電源、化學(xué)用品、FA自動(dòng)化上萬(wàn)種產(chǎn)品的銷售。
| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
|---|
LINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器 MM-3582L
LINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器 MM-3582L
質(zhì)量流量控制器是一種被使用在半導(dǎo)體,液晶面板以及其他電子設(shè)備制造工程當(dāng)中,控制氣體或液體質(zhì)量流量的高精密儀器。
由于是利用氣體或液體的質(zhì)量對(duì)流量進(jìn)行控制，故不受溫度及壓力的影響，可精準(zhǔn)地對(duì)流體進(jìn)行控制。質(zhì)量流量控制器主要由質(zhì)流傳感器、分流器、制閥以及控制回路所構(gòu)成。
典型應(yīng)用場(chǎng)景
1. 半導(dǎo)體制造：
晶圓刻蝕工藝（Cl?、CF?等特種氣體控制）
CVD沉積（SiH?/N?O流量比控制±1%）
2. 新能源領(lǐng)域：
燃料電池氫氣供應(yīng)（動(dòng)態(tài)響應(yīng)<50ms）
4. 科研實(shí)驗(yàn)：
催化反應(yīng)研究（多路氣體并行控制）
4. 科研實(shí)驗(yàn)：
催化反應(yīng)研究（多路氣體并行控制）
質(zhì)譜儀載氣調(diào)節(jié)（0.1-10mL/min微流量）
環(huán)境模擬實(shí)驗(yàn)（溫濕度聯(lián)動(dòng)控制）
| 溫度 | 壓力規(guī)格 | 精度 | 最小F.S. | 最大F.S. | 密封件 |
| 5~50℃ | 400kPa(D)以下 | ±1%S.P. | 5SCCM | 250SLM | Au |
質(zhì)流傳感器是由纏繞著高溫度靈敏系數(shù)的阻抗線的上流端(RU)，下流端(Rd)及環(huán)境溫度補(bǔ)慘式質(zhì)流傳感器(RD)所構(gòu)成。當(dāng)氣體未流入時(shí)。Ru 及 Rd 部分的熱量被氣體帶走，造成溫度下降，為維持原本與比的溫差，回路會(huì)產(chǎn)生電力對(duì)Ru及Rd進(jìn)行加溫。
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