MM-3102L-TN LINTEC琳得科 質量流量控制器
| 參考價 | ￥ 25170 |
| 訂貨量 | ≥1件 |
具體成交價以合同協(xié)議為準
- 公司名稱 高斯摩(成都)國際貿易有限公司
- 品牌 LINTEC/琳得科
- 型號 MM-3102L-TN
- 產地
- 廠商性質 經(jīng)銷商
- 更新時間 2025/3/28 14:52:27
- 訪問次數(shù) 39
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| 產地類別 | 進口 | 應用領域 | 綜合 |
|---|
LINTEC琳得科 質量流量控制器 MM-3102L-TN
LINTEC琳得科 質量流量控制器 MM-3102L-TN
質量流量控制器是一種被使用在半導體,液晶面板以及其他電子設備制造工程當中,控制氣體或液體質量流量的高精密儀器。
由于是利用氣體或液體的質量對流量進行控制，故不受溫度及壓力的影響，可精準地對流體進行控制。質量流量控制器主要由質流傳感器、分流器、制閥以及控制回路所構成。
典型應用場景
1. 半導體制造：
晶圓刻蝕工藝（Cl?、CF?等特種氣體控制）
CVD沉積（SiH?/N?O流量比控制±1%）
2. 新能源領域：
燃料電池氫氣供應（動態(tài)響應<50ms）
4. 科研實驗：
催化反應研究（多路氣體并行控制）
| 溫度 | 使用圧力 | 精度 | 最小F.S. | 最大F.S. | 密封件 | |
| low | 80~120℃ | 400kPa(D) | ±1%F.S. | 10SCCM | 25SLM | Au |
| high | 100~120℃ | 400kPa(D) | ±1%F.S. | 10SCCM | 25SLM | Au |
質流傳感器是由纏繞著高溫度靈敏系數(shù)的阻抗線的上流端(RU)，下流端(Rd)及環(huán)境溫度補慘式質流傳感器(RD)所構成。當氣體未流入時。Ru 及 Rd 部分的熱量被氣體帶走，造成溫度下降，為維持原本與比的溫差，回路會產生電力對Ru及Rd進行加溫。
技術驗證數(shù)據(jù)
案例1：半導體刻蝕工藝
控制氣體：Cl?/HBr混合氣
流量范圍：50-200sccm
穩(wěn)定性測試：8小時波動<±0.3%
匹配度：與終點檢測系統(tǒng)同步誤差
案例2：燃料電池測試
氫氣流量：0-5000sccm
階躍響應：10%-90%流量變化耗時200ms
耐久測試：連續(xù)工作5000小時零漂移
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