日本愛發(fā)科ULVAC 通用型羅茨真空泵

PRC系列是為對清潔度有特別要求的半導體、液晶制造工藝特別設(shè)計的羅茨泵。采用屏蔽式電機，不會從軸封部漏油?？蛇x擇大氣壓驅(qū)動型。

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