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PFEIFFER公司簡介：

PFEIFFER 真空技術(shù)和真空泵供應(yīng)商之一，除了全系列混合和磁懸浮渦輪泵外，產(chǎn)品組合還包括前級(jí)泵、泄漏檢測器、測量和分析設(shè)備、真空組件以及真空室和系統(tǒng)。自從PFEIFFER真空發(fā)明渦輪泵以來，該公司一直代表著分析、工業(yè)、研發(fā)、半導(dǎo)體和未來技術(shù)市場的創(chuàng)新解決方案和高科技產(chǎn)品。

PFEIFFER總部位于德國，是世界上極 大的綜合真空解決方案制造商之一，產(chǎn)品包括真空泵、真空系統(tǒng)、鼓風(fēng)機(jī)、壓縮機(jī)和氣體減排系統(tǒng)。

PFEIFFER球閥、PFEIFFER單級(jí)和雙級(jí)旋片泵、PFEIFFER真空計(jì)、PFEIFFER螺桿泵、PFEIFFER多級(jí)羅茨泵、PFEIFFER隔膜泵、PFEIFFER旋轉(zhuǎn)活塞泵、PFEIFFER羅茨泵、PFEIFFER渦輪分子泵、PFEIFFER泵站、PFEIFFER測量儀、PFEIFFER真空檢漏、PFEIFFER真空閥都是他們的主要產(chǎn)品。

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PFEIFFER產(chǎn)品介紹：

PFEIFFER便攜式真空檢漏儀

緊湊的外形和輕型的設(shè)計(jì)，真空便攜式檢漏儀是日常保養(yǎng)應(yīng)用中泄漏檢測的理想解決方案。便攜式檢漏儀是他們?yōu)槿粘１憬荼ｐB(yǎng)工作要求而推出的一款產(chǎn)品。考慮到這些應(yīng)用，重要的是所用的檢漏儀都是緊湊、輕型以及便攜式的。他們的ASM 310便攜式檢漏儀，其重量為21 kg，要比傳統(tǒng)的裝置輕了50%以上。有通用的電源接頭，使之可以用于全球范圍。并有專用的運(yùn)輸箱可作為選配，使這些裝置甚至可被帶上飛機(jī)，特別是在需要由維修工程師來開展泄漏檢測工作時(shí)，而維修工程師經(jīng)要求可工作。革新的技術(shù)使他們的檢漏儀與眾不同。它們配備了圖形化的彩色顯示器，且易于通過可分拆控制面板或在遠(yuǎn)處使用遙控器來進(jìn)行操作。菜單導(dǎo)航是用戶友好型且易于操作。Pfeiffer真空計(jì)TPR270 壓力傳感器PTR26950A

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PFEIFFER緊湊型真空檢漏儀：

ASM 340檢漏儀確保在真空或吸槍泄漏檢測方面針對(duì)各種應(yīng)用都具有（從維修到小型生產(chǎn)環(huán)境）頂級(jí)性能?？煽康臋z漏儀可用于泄漏的定性以及定量的整體或局部測試。它們是同級(jí)別中能提供定性化泄漏檢測的檢漏儀，在進(jìn)氣口壓力100 hPa就能進(jìn)行檢測。ASM 340以其強(qiáng)大的抽送系統(tǒng)為特征，且具有油式和干式兩個(gè)版本。易操作性、超快的響應(yīng)時(shí)間以及較短恢復(fù)時(shí)間都是此等緊湊型多用途裝置的凸出特征。即使是在最嚴(yán)苛的檢測條件下，ASM 340都是用于日常檢測的解決方案。

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PFEIFFER高功能移動(dòng)型檢漏儀：

針對(duì)大型測試對(duì)象的快速抽空和較短的響應(yīng)時(shí)間，真空的移動(dòng)型高性能檢漏儀進(jìn)行了優(yōu)化。ASM 390和ASM 392是的泄漏檢測解決方案，可用于半導(dǎo)體和平板顯示器行業(yè)以及其他要求應(yīng)用，這些應(yīng)用需要快速的抽空時(shí)間和高靈敏度。兩種設(shè)備都符合Semi S2標(biāo)準(zhǔn)。這些檢漏儀都配有干式非接觸式前級(jí)真空泵和強(qiáng)大的高真空渦輪分子泵，從而使其成為清潔環(huán)境下各種組件泄漏測試的理想工具。ASM 392裝有一臺(tái)額外的渦輪分子泵，可以加速泄漏檢測流程，降低生產(chǎn)設(shè)備的停機(jī)時(shí)間。

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真空閥

UHV角閥DN16C手動(dòng)不銹鋼/銅

銅密封，適用于特高壓服務(wù)

不銹鋼閥體和波紋管密封

電導(dǎo)率通過手輪連續(xù)變化（多圈）

執(zhí)行器：300°C (572°F, 573.15 K)

閥門關(guān)閉：300°C (572°F, 573.15 K)

閥門打開，真空狀態(tài)：400°C (752°F, 673.15 K)

分子流電導(dǎo)值：3 升/秒

連接法蘭：DN16CF

壓差：

關(guān)閉方向壓差：1000 hPa (750 托, 1000 毫巴)

開啟方向壓差：1000 hPa (750 托, 1000 毫巴)

開啟壓差：1000 hPa (750 托, 1000 毫巴)

饋通裝置：波紋管不銹鋼

閥門外殼材質(zhì)：不銹鋼

密封件：

外殼：銅

閥板：銅

使用壽命：10000次循環(huán)

緊密性：1 × 10^-10 毫巴升/秒

密封性（外殼）：1 × 10^-10 毫巴升/秒

類型：UHV角閥（超高真空角閥）

重量：1 公斤 (2.2 磅)

Pfeiffer真空計(jì)TPR270 壓力傳感器PTR26950A

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泄漏檢測器

ASM306S，現(xiàn)場總線

全時(shí)測試操作的最高可靠性和準(zhǔn)確性

快速、可重復(fù)、高靈敏度的測量

緊湊的裝置具有直觀的菜單，易于操作

探頭和測試泄漏需單獨(dú)訂購

前級(jí)泵：配備無油前級(jí)泵。

可檢測氣體：氦3、氫2、氦4。

尺寸：

350x305x421毫米 | 13.78x12.01x16.57英寸。

發(fā)射聲壓級(jí)（ENISO2151）：55分貝（A）。

I/O接口：現(xiàn)場總線。

輸入電壓：100–240伏交流電，50/60赫茲。

接口：標(biāo)準(zhǔn)15針I(yè)/O。

電源頻率兼容性：50赫茲/60赫茲。

氦氣最小可檢測泄漏率（嗅探泄漏檢測）：

1·10^-8帕斯卡立方米/秒 | 7.5·10^-8托升/秒 | 1·10^-7毫巴升/秒。

工作溫度：10–40攝氏度 | 50–104華氏度 | 283.15–313.15開爾文。

極大功耗：300伏安。

響應(yīng)時(shí)間：1秒。

啟動(dòng)時(shí)間（20°C），無校準(zhǔn)：2分鐘。

測試方法：嗅探泄漏檢測。

重量：22公斤 | 48.5磅。

Pfeiffer真空計(jì)TPR270 壓力傳感器PTR26950A

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質(zhì)譜儀

HiQuad®Neo配備QMA400,1-512u,帶軸向離子源

HiQuad®Neo質(zhì)譜儀系統(tǒng)

極快的測量速度、寬動(dòng)態(tài)范圍、極 大靈敏度和出色的長期穩(wěn)定性

由于偏置離子源，背景溫度較低，由于場軸技術(shù)，檢測限極低

PVMassSpec®-軟件可實(shí)現(xiàn)簡單直觀的操作和可視化

利用綜合矩陣計(jì)算確定氣體濃度

環(huán)境溫度：

分析儀：150°C (302°F, 423.15 K)

電子產(chǎn)品：5–40°C (41–104°F, 278.15–313.15 K)

分析器：量子點(diǎn)400

烘烤溫度：分析儀：400°C (752°F, 673.15 K)

至操作面板的電纜長度：3米

連接法蘭：DN63CF-F（英寸）

檢測限：1 × 10^-15 hPa (7.5 × 10^-16 托, 1 × 10^-15 毫巴)

探測器：七217

燈絲：涂覆Y2O3的銥

高頻發(fā)生器：QMH800-5

高壓供電：高壓801

I/O接口：以太網(wǎng)

輸入電壓：100–240伏交流電，50/60赫茲

離子源：軸向，1個(gè)燈絲

離子源供給：是816

電源頻率兼容性：50赫茲 / 60赫茲

質(zhì)量范圍：1–512 u (質(zhì)量范圍單位應(yīng)該是“u”，可能是“amu”即原子質(zhì)量單位)

測量速度：中等：0.125毫秒–60秒/秒

測量速度：掃描模擬：0.125毫秒–60秒/秒

MID中的測量通道數(shù)：128個(gè)

極大工作壓力：法拉第：1 × 10^-4 hPa (7.5 × 10^-5 托, 1 × 10^-4 毫巴)

極大工作壓力：SEM：1 × 10^-5 hPa (7.5 × 10^-6 托, 1 × 10^-5 毫巴)

SEM測量分壓比：0.5 ppb (部分?jǐn)?shù)據(jù)可能需要確認(rèn)單位和實(shí)際用途)

峰比率重現(xiàn)性：0.1%

前置放大器：EP822

分辨率，峰高10%可調(diào)：0.3–7點(diǎn)

桿系：

直徑：8毫米 (0.31英寸)

長度：200毫米 (7.87英寸)

材質(zhì)：鉬

Ar靈敏度：法拉第：5 × 10^-4 A/百帕 (3.75 × 10^-4 托, 5 × 10^-4 毫巴)

軟件：PV-質(zhì)譜®

Pfeiffer真空計(jì)TPR270 壓力傳感器PTR26950A

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量規(guī)

CCT365,DN16CF-R,RS-485,以太網(wǎng)

測量范圍：1·10-5–0.1hPa

壓力測量與氣體類型無關(guān)

最小零點(diǎn)漂移

精確的溫度補(bǔ)償

陶瓷技術(shù)中的傳感器

交付時(shí)包含校準(zhǔn)測試報(bào)告

EtherCat接口

量程1內(nèi)的測量精度：0.5%（測量值）

環(huán)境溫度：5–50°C (41–122°F, 278.15–323.15 K)

法蘭烘烤溫度：≤110°C (≤230°F, ≤383.15 K)

連接法蘭：DN16CF-R

電氣連接：RS485，M12，5極，插座，A編碼

全尺寸：0.1 hPa (0.1 hPa, 7.5 × 10^-2 托, 0.1 毫巴)

I/O接口：RS-485，以太網(wǎng)

輸入電壓：14–30伏直流

接口：連接、設(shè)備側(cè)：RS-485，M12，5極，插座，B編碼

與介質(zhì)接觸的材料：陶瓷 (Al2O3=99.5%)，不銹鋼 (AISI316L)

測量電纜長度：100米

測量周期：160毫秒

測量方法：電容式

測量范圍：1 × 10^-5–1.1 × 10^-1 百帕 (7.5 × 10^-6–8.25 × 10^-2 托, 1 × 10^-5–0.11 毫巴)

極大功耗：5瓦

極大壓力：1300 hPa (975 托, 1300 毫巴)

保護(hù)等級(jí)：IP40

解決方案精度：滿量程的 0.003%

溫度影響（測量值范圍內(nèi)）：測量值的 0.03%/°C (32.05°F, 273.18 K)

溫度影響（零點(diǎn)）：0.02% 滿量程/°C (32.04°F, 273.17 K)

重量：0.69千克 (1.52磅)

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真空泵

隔膜泵24VDC

極其緊湊的隔膜泵，抽氣速度高達(dá)0.25m3/h

無碳?xì)浠衔铮焊稍?、無油隔膜泵

低噪音、低振動(dòng)

高品質(zhì)和短維護(hù)時(shí)間帶來低運(yùn)營成本

由于集成控制輸入0-5V，速度可變

適用于移動(dòng)應(yīng)用和集成在最小的安裝空間中

環(huán)境溫度：5–40°C (41–104°F, 278.15–313.15 K)

連接法蘭（英寸）：1/8英寸

連接法蘭（出）：G1/8" 帶消音器

冷卻方式：自然對(duì)流

極大電流：0.5安

尺寸（長×寬×高）：116 x 116 x 62毫米 (4.57 x 4.57 x 2.44英寸)

發(fā)射聲壓級(jí)（EN ISO 2151）：48分貝（A）

極大排氣壓力：1300 hPa (975 托, 1300 毫巴)

最終壓力：7百帕 (5.25 托, 7 毫巴)

氣鎮(zhèn)流器：是的

輸入電壓：24伏直流電（±5%）

輸入：模擬：0–5伏直流電

極大進(jìn)氣壓力：1000 hPa (750 托, 1000 毫巴)

整體泄漏率：6 × 10^-3 帕斯卡立方米/秒 (4.5 × 10^-2 托升/秒, 6 × 10^-2 毫巴升/秒)

電源線：無

電機(jī)保護(hù)：電子方式

電機(jī)類型：直流電機(jī)

公稱轉(zhuǎn)速：3000轉(zhuǎn)/分 (3000分鐘^-1)

泵送級(jí)數(shù)：兩階段

極大工作高度：2000米

保護(hù)等級(jí)：IP30

抽氣速度：0.25立方米/小時(shí) (0.15立方英尺/分鐘, 4.17升/分鐘)

旋轉(zhuǎn)速度：1000–3000轉(zhuǎn)/分 (1000–3000分鐘^-1)

電壓源極大短路電流：45安

轉(zhuǎn)變：無

重量：0.74千克 (1.63磅)

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泵站

HiCube300HDN100CF-FACP15

適用于所有高真空應(yīng)用的緊湊型泵站系列

觸摸顯示屏，操作簡單

可通過Web服務(wù)器進(jìn)行遠(yuǎn)程控制

可靠且堅(jiān)固

環(huán)境溫度：12–35°C (53.6–95°F, 285.15–308.15 K)

前級(jí)泵：ACP15

連接法蘭（英寸）：DN100CF-F

連接法蘭（出）：DN16 ISO-KF

冷卻方式：空氣（強(qiáng)制對(duì)流）

發(fā)射聲壓級(jí)（EN ISO 2151）：≤50分貝 (A)

最終壓力：5 × 10^-10 hPa (5 × 10^-10 hPa, 3.75 × 10^-10 托, 5 × 10^-10 毫巴)

前真空安全閥：是的

輸入電壓：100–120/200–240伏交流電（±10%），50/60赫茲

電源頻率兼容性：50赫茲 / 60赫茲

模塊插槽1：量表/IO

區(qū)域電機(jī)：全球適用

50Hz時(shí)前級(jí)泵的抽速：14立方米/小時(shí) (8.24立方英尺/分鐘, 233.33升/分鐘)

N2抽速：260升/秒

極大轉(zhuǎn)速時(shí)的額定功率：810瓦

渦輪泵：HiPace300H

類型：渦輪泵站

重量：81千克 (178.57磅)

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PFEIFFER公司部分產(chǎn)品型號(hào)：

PFEIFFER 11000系列

PFEIFFER 21700系列

PFEIFFER ASM 340

PFEIFFER ASM 390

PFEIFFER ASM 192

真空分子泵TMH261YP PM P03 530PFEIFFER 

真空分子泵 VACUUM TIC250PFEIFFER 

真空分子泵 VACUUM TCP015PFEIFFER 

真空分子泵 VACUUM TW250PFEIFFER TCP 600 

真空分子泵 VACUUM TCP121PFEIFFER 

真空分子泵 VACUUM TCP380 、TCP 600 

TURBO Pump ControllerPfeiffer TC 600 ,

TCP 380,  TCP 121, 

TCP 035, TCP 015, 

DCU 200BALZERS VACUUM IMG300 IMG 300 INFICONGAUGE CONTROLLERPFEIFFER-BALZERS: TCP-040, 

TCP-120, TCP-121, TCP-300, TCP-310, TCP-380, TCP-600, TCP-5000

TCP-015、TCP-40、TCP-120、TCP-121、TCP-300、TCP-380

TCP-310、TCP-600、TCP-015、TCP-040、TCP-120、TCP-121

TCP-300、TCP-380、TCP-310 、TCP-600、TCP 380 、TCP 270

TPS 600 、TCP 5000 

Alcatel/Aixen 阿爾卡特分子控制器 

ACT250 ACT100T ACT600T ACT200T ACT100T

Alcatel/Aixen 阿爾卡特分子控制器

 ACT600Alcatel/Aixen ACT250 

TY108320EDWARDS 

VACUUM CONTROLLER EXC-100EDWARDS 

VACUUM PUMP DRIVER EXC-300Edwards