瑞士VAT閥04.2 高真空傳輸閥與L-VAT
- 公司名稱 上海茂碩機(jī)械設(shè)備有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地 日本
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2024/12/11 14:04:25
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| 3C閥門類別 | 工業(yè) | 流動(dòng)方向 | 單向 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 能源,電子,汽車,電氣,綜合 |
瑞士VAT閥04.2 高真空傳輸閥與L-VAT
瑞士VAT閥04.2 高真空傳輸閥與L-VAT
在腐蝕性工藝環(huán)境下提供可靠隔離采用 L-VAT 技術(shù)的 04.2 傳輸閥特別適合腐蝕性工藝，如蝕刻或 CVD。L-VAT 技術(shù)通過(guò)單軸氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)器提供閥板的 J 型運(yùn)動(dòng)。在 J 型運(yùn)動(dòng)中，閥板在不接觸閥體的情況下垂直移動(dòng)到關(guān)閉位置，在最后的運(yùn)動(dòng)中被水平推到閥座上（密封件以固定力接觸閥座，該固定力與所連接的空氣壓力相關(guān)）。
為大程度地減少粒子的產(chǎn)生和生成，閥板配備了硫化密封件。盡管標(biāo)準(zhǔn) O 型密封圈可作為一種選擇，但這是一種比標(biāo)準(zhǔn) O 型密封圈更可靠、更耐用的密封解決方案。軸饋通件由高度耐用的金屬焊接波紋管密封。
斷電時(shí)，04.2 系列可通過(guò)選配的止回閥氣動(dòng)鎖定在關(guān)閉和打開(kāi)位置。
04.2 高真空傳輸閥與L-VAT設(shè)計(jì)用于延長(zhǎng)免維護(hù)運(yùn)行（在維護(hù)前開(kāi)關(guān)次數(shù) ≤ 300 萬(wàn)）。
04.2 系列已經(jīng)安裝在數(shù)百個(gè)各種半導(dǎo)體生產(chǎn)流程的要求苛刻的應(yīng)用中，證明了其的可靠性。04.2 系列具有堅(jiān)固的設(shè)計(jì)，減少了維護(hù)量，使維護(hù)更方便，在各個(gè)方面都令人信服。
04.2 高真空傳輸閥與L-VAT始終根據(jù)客戶規(guī)格要求量身定制。盡管如此，四個(gè)基礎(chǔ)設(shè)計(jì)類型已預(yù)定義：兩種具有不同的后側(cè)開(kāi)口的閥門類型和兩種帶有內(nèi)腔或外腔閥座的嵌入型閥門類型。
閥體材料選擇有硬質(zhì)陽(yáng)極氧化鋁或鍍鎳鋁。閥板和閥蓋密封件采用氟橡膠或全氟橡膠材料。可根據(jù)要求使用其他密封材料。
04.2 高真空傳輸閥與L-VAT的主要特點(diǎn)
特點(diǎn)：
可在腐蝕性工藝條件下實(shí)現(xiàn)可靠運(yùn)行
平滑且低沖擊的運(yùn)動(dòng)
采用避免粒子生成和產(chǎn)生的 L-VAT 技術(shù)
波紋管密封軸饋通件
免維護(hù)周期延長(zhǎng)
優(yōu)勢(shì)：
正常運(yùn)行時(shí)間長(zhǎng)/性能不受限
運(yùn)行快速
運(yùn)行成本低
瑞士VAT閥04.2 高真空傳輸閥與L-VAT
技術(shù)數(shù)據(jù)
| 尺寸 | 46 x 236 mm 至 50 x 336 mm (1.81" x 9.29" to 1.97" to 13.23") | ||
|---|---|---|---|
| 驅(qū)動(dòng)器 | 氣動(dòng) | 雙作用，帶位置指示器 | |
| 閥體材料 | 鋁 | ||
| 饋通件 | 波紋管 | ||
| 泄漏率 | 閥體 | < 1 × 10-9 mbar ls-1 | |
| 閥座 | < 1 × 10-9 mbar ls-1 | ||
| 壓力范圍 | 1 × 10-9 mbar to 1.2 bar（絕對(duì)壓強(qiáng)） | ||
| 壓差 | 閥板上 | ≤ 1.2 bar | |
| 打開(kāi)時(shí) | ≤ 30 mbar | ||
| 首維護(hù)前開(kāi)關(guān)次數(shù) | ≥ 300萬(wàn)次 | ||
| 溫度 | 閥體 | ≤ 50℃ 至 ≤ 120℃ | |
| 閥板 | ≤ 50℃ 至 ≤ 120℃ | ||
| 加熱和冷卻速率 | ≤ 40 °C h-1 | ||
| 閥座/閥板溫差 | < 40 °C | ||
| 材料 | 閥體、閥板、檢修蓋 | EN AW-6082 (3.2315), EN AW-6061 (3.3211) | |
| 軸、波紋管端件 | AISI 316L (1.4435) | ||
| 波紋管 | AISI 633 (AM 350) | ||
| 密封 | 閥蓋 | 氟橡膠 | |
| 閥板 | 氟橡膠 | ||
| 安裝位置 | 驅(qū)動(dòng)器可向下安裝 | ||
| 脈沖電磁閥 | 24 VDC，2.5 W（可根據(jù)要求提供其他值） | ||
| 位置指示器：觸點(diǎn)額定值 | 電壓 | ≤ 50 VDC | |
| 電流 | ≤ 250 mA | ||
| 電源 | ≤ 10 W | ||
| 連接 | 9 針 D 形超小型連接器 | ||
| 壓縮空氣連接 | 未配備電磁閥 | 內(nèi)部螺紋 ?“ ISO/NPT | |
| 配備電磁閥 | 內(nèi)部螺紋 M5 | ||
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