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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>化工機械設(shè)備>真空設(shè)備>真空檢漏設(shè)備> 英福康UL1000(fab)氦質(zhì)譜檢漏儀

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英??礥L1000(fab)氦質(zhì)譜檢漏儀

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 杭州太昊科技有限公司
  • 品牌
  • 型號
  • 產(chǎn)地 德國
  • 廠商性質(zhì) 代理商
  • 更新時間 2024/1/24 10:25:21
  • 訪問次數(shù) 11201

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      杭州太昊科技有限公司是INFICON的授權(quán)代理商,專業(yè)銷售INFICON旗下的真空產(chǎn)品及設(shè)備,同時致力于先進(jìn)真空技術(shù)的推廣和應(yīng)用,為廣大用戶改進(jìn)生產(chǎn)工藝,提升競爭力提供產(chǎn)品服務(wù)和技術(shù)支持。

      目前,公司所經(jīng)營的產(chǎn)品主要有三大類: 一、膜厚控制/監(jiān)測系統(tǒng),產(chǎn)品包括膜厚控制儀、膜厚監(jiān)測儀、傳感器探頭、振蕩器及坩堝控制儀等;二、氣體檢漏/分析系統(tǒng),產(chǎn)品有氦質(zhì)譜檢漏儀、冷媒檢漏儀、四極質(zhì)譜儀(即殘余氣體分析儀)及其他類型檢漏儀;三、真空監(jiān)測/控制系統(tǒng),產(chǎn)品主要包括:真空規(guī)、壓強控制儀、質(zhì)量流量計、真空閥門、真空密封件等;產(chǎn)品應(yīng)用覆蓋光電技術(shù)、太陽能薄膜、半導(dǎo)體制造、照明電器、空調(diào)制冷、科研、航天、汽車制造等眾多行業(yè)和領(lǐng)域。公司本著“積極進(jìn)取、開拓創(chuàng)新”的精神,不斷提升專業(yè)技能、完善運營細(xì)節(jié),兢兢業(yè)業(yè)、勤勤懇懇,旨在為廣大用戶提供更好的真空技術(shù)支持和更加完善的售后服務(wù)。

我們的理念是“完善自我,攜手用戶,精誠合作,共同進(jìn)步”。我們以我們的誠信和服務(wù)贏得用戶的肯定和信任,以客戶的肯定和信任作為我們孜孜以求的動力和目標(biāo),期待更多新老朋友來電來函咨詢業(yè)務(wù),洽談合作!







氦質(zhì)譜檢漏儀,冷媒檢漏儀,真空計,膜厚控制儀,流量控制器,氣體分析儀,真空泵及耗材,晶振片

應(yīng)用領(lǐng)域 化工,電子,綜合

英??礥L1000(fab)氦質(zhì)譜檢漏儀

INFICON(德國)UL1000 fab移動式氦檢漏儀專門設(shè)計用于滿足苛刻的工業(yè)檢漏要求:具有耐用性強、測試靈活性好、靈敏度高、啟動快,響應(yīng)精準(zhǔn)迅速,系統(tǒng)安可靠等特點。

UL1000 fab符合微電子工業(yè)生產(chǎn)的要求。從堅固的金屬外殼到方便移動的滾輪 ,至 I·C AL, 用于解除在10 -11 至10 -12 高靈敏漏率范圍中長平衡時間 的運算法則,都無不顯示了其*性。

系統(tǒng)軟件包含帶有故障查找指令的*自診斷程序。并可調(diào)用防止氦氣或工藝氣體污染的保護(hù)功能。英??礥L1000(fab)氦質(zhì)譜檢漏儀的通風(fēng)系統(tǒng)不會干擾通常清潔室中從天花板至地面的空氣流動。渦輪分子泵的抽速和壓縮比可降低并解除氦污染。

UL1000 fab氦質(zhì)譜檢漏儀具有可轉(zhuǎn)動的控制界面,裝在儀器商的顯示器用十分清楚的大型字體顯示測量結(jié)果于狀態(tài)信息,這樣可遠(yuǎn)距離方便地觀察讀值。 通過更新軟件,新的固件可通過標(biāo)準(zhǔn)接口在數(shù)分鐘內(nèi)完成安裝。

應(yīng)用:

1、半導(dǎo)體工藝設(shè)備的維護(hù),該設(shè)備本身帶或未帶有渦輪分子泵

2、工藝氣體系統(tǒng)的檢測與安裝

3、元器件在組裝前的漏率測試

4、要求高抽速、高靈敏度以及清潔測試條件的應(yīng)用場合

 

優(yōu)勢所在:

1、具有*的ICAL本底穩(wěn)定功能,提供在10-12毫巴 •升/ 秒范圍內(nèi)無比*的測量速度和穩(wěn)定性。

2、可270度旋轉(zhuǎn)的顯示器,大而清楚的字體可遠(yuǎn)距離方便地觀察讀值。可以數(shù)顯,模擬顯和趨勢顯示三種顯示方式。菜單式控制軟件,易于使用。

3、高性能渦旋式干泵,抽速:25米3/小時@50Hz。

4、德國普發(fā)三級渦輪進(jìn)氣分子泵,抽速:>70升/秒,采用半磁懸浮軸承,即使90000轉(zhuǎn)/分鐘的轉(zhuǎn)速也不會磨損軸承,高氦壓縮比:比其他檢漏儀高2-4倍。

5、兩條鍍釔的銥絲,當(dāng)一只燈絲斷了以后,能自動切換到另一只。UL1000*的結(jié)構(gòu)設(shè)計使燈絲可耐大氣沖擊和污染。離子源保修3年。

6、UL1000采用全逆擴散檢漏方式,即使是在精檢和超精檢模式依然采用逆擴散檢漏方式。有效地減少對檢漏儀質(zhì)譜室的污染。UL1000的質(zhì)譜室終生免維護(hù)。

7、采用毛細(xì)管式TL7校準(zhǔn)漏孔,不受環(huán)境溫度變化影響,因此不需要溫度補償。*的測試罐校準(zhǔn)模式不僅校準(zhǔn)儀器,也校準(zhǔn)檢漏罐,是精準(zhǔn)的校準(zhǔn)。

英??倒驹诒本虾:蛷V州設(shè)有維修中心及備件倉庫,可以提供24小時服務(wù)。工程師全部在德國總部接受過嚴(yán)格培訓(xùn)。國內(nèi)的各維修中心存有備用氦檢漏儀,可在緊急情況下提供給用戶免費使用。 INFICON有專門維修代理,可提供日常技術(shù)支持及維修。

 

技術(shù)參數(shù):

小可檢漏率(按AVS2.1和EN1518標(biāo)準(zhǔn)) <5×10-12mbar.l/s
小可檢漏率(吸入模式) <3×10-8mbar.l/s
入口壓強粗檢模式 15mbar
精檢模式 2mbar
超精檢模式 0.4mbar
抽泵抽速 16-25立方米/小時
氦氣抽速(進(jìn)氣口處)粗檢模式 8升/秒
精檢模式 7升/秒
超精檢模式 2.5升/秒
可檢質(zhì)量數(shù) 2、3、4amu,氫,3氦,氦
電源電壓 110-120V;220-240V
重量 110公斤;242磅
尺寸,包括手把(長×寬×高) 1068×525×850毫米

 

 

 

 



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