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UV-M10-P/S日本ORC計(jì)測(cè)器械紫外線(xiàn)發(fā)光強(qiáng)度計(jì)
| ?? | 紫外線(xiàn)露光用の制御信號(hào)を出力できる紫外線(xiàn)光量計(jì)です。 |
| ?? | 10チャンネルの光量設(shè)定、光量測(cè)定、照度測(cè)定、タイマー設(shè)定、時(shí)間計(jì)測(cè)などのマルチ機(jī)能を備えています。 |
| ?? | 光量測(cè)定中に、照度表示と時(shí)間表示に切り替えが可能です。 |
| ?? | 機(jī)器組込型UV-M10-Pと卓上型UV-M10-Sをお選びいただけます。 |
| ?? | 受光器は、ご使用されている（ご使用予定の）光源とレジスト等の感度にあわせてＵＶ－２５，３５，４２用をご選択いただきます。ただし電子回路（プリント）基板の製造工程でお使いの場(chǎng)合にはＵＶ－ＳＮ２５，ＵＶ－ＳＮ３５，ＵＶ－ＳＮ４２を、半導(dǎo)體、液晶用基板の製造工程でお使いの場(chǎng)合にはＵＶ－ＳＤ２５，ＵＶ－ＳＤ３５，ＵＶ－ＳＤ４２をご選択されるように推奨します。 |
| ◆ ＳＤ型とＳＮ型について |
| ?。樱涡亭瞎扭楫?dāng)社製の露光裝置や照射裝置等をお使いいただいているお客様に広く採(cǎi)用されているもので、プロセス管理の継続性を確保しています。 ?。樱男亭习雽?dǎo)體や液晶用基板の製造プロセスの現(xiàn)場(chǎng)で、すでに他社製の照度計(jì)をお使いのお客様が、それらの計(jì)測(cè)器とのデータの互換性確保を重視される場(chǎng)合（當(dāng)社製の露光裝置でも投影型露光裝置や液晶基板用の周辺露光裝置にはＳＤ型が採(cǎi)用されています）や、全く新規(guī)に照度計(jì)などをお使いになられるお客様に推奨しています。 |
| ◆ ＳＤ型とＳＮ型の指示値について |
| SN型は古くからのプロセスデータの互換性を確保するようにSD型の指示値（當(dāng)社計(jì)測(cè)グループで校正用の放射源として使用している高圧ＵＶランプの365nmの輝線(xiàn)を同一の測(cè)定條件で測(cè)定した時(shí)に示される照度の値： mＷ/ｃｍ２ 表示）に対して３９％高く表示するように調(diào)整されています。 |
| ◆ 他社製照度計(jì)??光量計(jì)とのデータ互換性について |
| 可視光用の照度計(jì)??光量計(jì)（家庭??事務(wù)所??店舗??美術(shù)館などの明るさをＬＵＸ単位で測(cè)る照度計(jì)??光量計(jì)）と違い、紫外線(xiàn)用の照度計(jì)??光量計(jì)の全てに適用される規(guī)格は未だ整えられていません（ごく一部の限定された用途でＪＩＳ化の作業(yè)は行われているようです）。 各社の相対分光感度は、３６５nmの輝線(xiàn)を主體とした光源による照度を測(cè)定する目的で作られていても、測(cè)定のピーク波長(zhǎng)（相対分光感度特性が１で示されている波長(zhǎng)）を初めとして、短波長(zhǎng)側(cè)（３００nm～３１０nm前後）と長(zhǎng)波長(zhǎng)側(cè)（３８０nm～４００nm前後）の立ち上り、立ち下ろしの波長(zhǎng)とその前後の曲線(xiàn)が少しずつ異なっています。 またＣＯＳθ特性と言われている受光器の持つ受光角特性も理想曲線(xiàn)に近づけようと、設(shè)計(jì)面で努力されていますが、中々実現(xiàn)されていないのが現(xiàn)実です。 |
| ◆ 仕 様 |
| 受光器（交換式） | UV-SD35（UV-SN35） | |||
| 測(cè)定波長(zhǎng)領(lǐng)域 | 310～385nm | |||
| 測(cè)定光量範(fàn)囲 | 0.01～999.9mJ/cm2 | |||
| 測(cè)定照度範(fàn)囲 |
| |||
| 入出力信號(hào) （D-サブコネクター） | 入力（1）リモートスタート（2）リモートストップ リレー接點(diǎn)出力（1）N. O.（スタートでON）（2）N. C.（3）アラーム | |||
| 合わせ込み精度 | 當(dāng)社UV標(biāo)準(zhǔn)器に対して±2％以?xún)?nèi) | |||
| 繰り返し精度 | ±2％以?xún)?nèi) |
| ◆ UV計(jì)測(cè)器 受光器 分光感度特性 |