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SEM SNE-4500M-韓國SEC SNE-4500M型高分辨臺式掃描電鏡
  • SEM SNE-4500M-韓國SEC SNE-4500M型高分辨臺式掃描電鏡
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貨物所在地:香港香港特別行政區(qū)

更新時(shí)間:2025-01-06 21:00:07

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主推產(chǎn)品
分析儀器
實(shí)驗(yàn)室常用設(shè)備
物性測量儀及設(shè)備
光學(xué)儀器及設(shè)備
環(huán)境監(jiān)測儀器
行業(yè)專用儀器
制藥設(shè)備
耗材與配件
冷凍干燥設(shè)備
SNE-4500M型掃描電鏡是韓國SEC公司研制的高分辨、自動化、經(jīng)濟(jì)的型號Mini-SEM,具備與大型掃描電鏡同等的分辨率。該設(shè)備實(shí)現(xiàn)了大電鏡的小型化處理,放大倍率高達(dá)10萬倍;裝載易于使用的可變光闌,可達(dá)到5nm圖像分辨率,是臺式電鏡中分辨率大的設(shè)備;作為*一款5軸載臺的Mini-SEM, 能同時(shí)運(yùn)用鼠標(biāo)控制與快捷鍵移動樣品進(jìn)行全面分析;可通過多種掃描模式與測試工具獲得多種分析結(jié)果。

 

儀器配置

 

 

型號

參數(shù)

SEM basic

SNE-4500M

分辨率:5nm,放大倍數(shù):100,000倍,探測器:二次電子(SE),電壓:1到30kv,樣品臺:X,Y,R,Z,T五軸/手動控制,真空:高

 

臺式電腦(或筆記本電腦)/因特爾處理器,硬盤:500GB,RAM緩存:4GB

  

顯示器(21.5英寸)

  

機(jī)械泵(裝配;軟管);SEM備用零件(燈絲,試件臺,夾具,扳手……)Cable; Connecting 連接電纜

 

SEM   Additional accessories

背散射探測器,類型:固態(tài)4通道

  

自動軸控制

-Type:   X,Y,R(3-axis)/DC Type(Basic);類型:X,Y,R(3軸)/DC型(標(biāo)配)

EDS   System  EDS系統(tǒng)

element

分辨率:129   電子伏 / 元素范圍:從B 到Am, 反應(yīng)區(qū)域:25mm2, C系列Si3N4窗口,軟件:TEAM(頻譜分析,圖像,多點(diǎn),線掃描,數(shù)據(jù)記錄)

 

1.jpg

圖1 SNE-4500M型掃描電鏡

技術(shù)參數(shù)

 

電子光學(xué)系統(tǒng)

分辨率

5nm (30kV, 二次電子成像)

放大倍率

20x~100,000x

加速電壓

1~30kV (1/5/10/15/20/30)

探測器

二次電子探測器(SE)

電子槍

預(yù)對中鎢燈絲

載臺系統(tǒng)

載臺運(yùn)動

5軸系統(tǒng) (X, Y, R, Z, T -手動)

X, Y-軸: 40mm / R-軸: 360°

Z-軸: 0~35mm / Tilt-軸 : 0~45°

* 影像偏移 : ±150μm

大樣品尺寸

80mm(Φ)*35mm(H)

成像系統(tǒng)

自動功能

自動啟動,自動聚焦,自動消像散,自動調(diào)節(jié)對比與亮度

圖像格式

BMP, JPEG, PNG, TIFF

真空系統(tǒng)

真空模式

高真空(低真空可選)

真空泵

旋轉(zhuǎn)式機(jī)械泵/渦輪式分子泵(全自動)

尺寸與重量

主機(jī)

390(W)x380(D)x560(H)mm, 88kg

控制單元

390(W)x325(D)x560(H)mm, 37kg

旋轉(zhuǎn)泵

400(W)x160(D)x340(H)mm, 24kg

 

EDS(elment)介紹

EDS (Energy Dispersive X-ray Spectrometer)是裝載在SEM(電子顯微鏡)上的可以對樣品表面進(jìn)行成分分析的設(shè)備。電子束轟擊樣品表面后,可產(chǎn)生多種信號,EDS探測器通過檢測其中的特征X-Ray,進(jìn)行定性和定量分析。用戶可采用線掃、面掃等模式,進(jìn)行點(diǎn)、線、面等多區(qū)域多樣的表面成分分析,并生成不同格式的結(jié)果報(bào)告。賽可所有電鏡型號都可以裝載EDS探測器,其搭載的袖珍EDS和大型電鏡配備的EDS具有相同的性能,且不需液氮,操作快速、簡便。

(a)  定性定量分析

提供快速精準(zhǔn)的定性及定量分析結(jié)果,面,點(diǎn)等多領(lǐng)域多樣的表面成分分析,如圖2。

- 自動分離重疊峰值, 提供高信頼性結(jié)果。

2.jpg

圖2 賽可臺式掃描電鏡EDS圖譜

 

(b)  線掃(Line Scan)

根據(jù)使用者的直線來進(jìn)行分析,可以明顯區(qū)分各元素差異,如圖3。

3.jpg

 

圖3 賽可臺式掃描電鏡EDS線掃圖

 

(c)  面掃(Mapping)

以不同顏色區(qū)分各元素所在區(qū)域,如圖4。

4.jpg

圖4 賽可臺式掃描電鏡EDS面掃圖

自動軸控制

在標(biāo)配的手動控制載臺上搭載電動控制,可以對載臺在X/Y/R三軸的移動進(jìn)行自動控制,使樣品移動更簡單。

用戶可以利用控制界面進(jìn)行位置移動,在軟件中雙擊鼠標(biāo),位置回歸中心點(diǎn)。

5.jpg

圖5 自動化平臺

 

設(shè)備應(yīng)用展示

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7.jpg

晶圓 (SE/10 kV/30,000x)   

氮化鎵(SE/15 kV/10,000x)

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9.jpg

  二氧化硅(SE/20 kV/30,000x)   

氧化鋅(SE/5 kV/15,000x

  

當(dāng)前SEC SEM 4500M臺式掃描電鏡現(xiàn)貨大促,直降30W,有興趣快來咨詢德祥!

 

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