美國(guó)FSM 薄膜應(yīng)力及基底翹曲測(cè)試設(shè)備

  在襯底鍍上不同的薄膜后, 因?yàn)閮烧卟馁|(zhì)不一樣，以及不同的材料不同溫度下特性不一樣, 所以會(huì)引起應(yīng)力。 如應(yīng)力太大會(huì)引起薄膜脫落, 引致組件失效或可靠性不佳的問(wèn)題。 薄膜應(yīng)力激光測(cè)量?jī)x利用激光測(cè)量樣本的形貌,透過(guò)比較鍍膜前后襯底曲率半徑的變化, 以Stoney’s Equation計(jì)算出應(yīng)力, 是品檢及改進(jìn)工藝的有/效手段。

  1) 快速、非接觸式測(cè)量

  2) 128型號(hào)適用于3至8寸晶圓

  128L型號(hào)適用于12寸晶圓

  128G 型號(hào)適用于470 X 370mm樣品，

  另可按要求訂做不同尺寸的樣品臺(tái)

  3) 雙激光自動(dòng)轉(zhuǎn)換技術(shù)

  如某一波長(zhǎng)激光在樣本反射度不足，系統(tǒng)會(huì)自動(dòng)使用

  另一波長(zhǎng)激光進(jìn)行掃瞄，滿足不同材料的應(yīng)用

  4) 全自動(dòng)平臺(tái)，可以進(jìn)行2D及3D掃瞄(可選)

  5) 可加入更多功能滿足研發(fā)的需求

  電介質(zhì)厚度測(cè)量

  6) 500 及 900°C高溫型號(hào)可選

  7) 樣品上有圖案亦適用

美國(guó)FSM 薄膜應(yīng)力及基底翹曲測(cè)試設(shè)備  FSM128規(guī)格

  1) 測(cè)量方式: 非接觸式(激光掃瞄)

  2) 樣本尺寸:

  FSM 128NT: 75 mm to 200 mm

  FSM 128L: 150 mm/ 200 mm/ 300mm

  FSM 128G: /大550×650 mm

  3) 掃瞄方式: 高精度單次掃瞄、2D/ 3D掃瞄(可選)

  4) 激光強(qiáng)度: 根據(jù)樣本反射度自動(dòng)調(diào)節(jié)

  5) 激光波長(zhǎng): 650nm及780nm自動(dòng)切換(其它波長(zhǎng)可選)

  6) 薄膜應(yīng)力范圍: 1 MPa — 4 GPa

  (硅片翹曲或彎曲度變化大于1 micron)

  7) 重復(fù)性: 1% (1 sigma)*

  8) 準(zhǔn)確度: ≤ 2.5%

  使用20米半徑球面鏡

  9) 設(shè)備尺寸及重量:

  FSM 128: 14″(W)×22″(L)×15″(H)/ 50 lbs

  FSM128L:14″(W)×26″(L)×15″/ 70 lbs

  FSM128G:37″(W)×48″(D)×19″(H)/ 200 lbs

  電源 : 110V/220V, 20A