EVG610 BA-鍵合對準(zhǔn)機(jī) EVG鍵合機(jī)

EVG610 BA 鍵合對準(zhǔn)系統(tǒng)

EVG鍵合機(jī)（晶圓鍵合機(jī)）基本功能：用于晶圓到晶圓對準(zhǔn)的手動鍵合對準(zhǔn)系統(tǒng)，適用于學(xué)校和工業(yè)研究。

一、簡介

EVG鍵合機(jī)EVG610鍵合對準(zhǔn)系統(tǒng)（晶圓鍵合機(jī)）專為晶圓與晶圓對準(zhǔn)設(shè)計(jì)，晶圓尺寸大可達(dá)150 mm。EV Group鍵合對準(zhǔn)系統(tǒng)提供手動高精度帶有底部顯微鏡的校準(zhǔn)臺。EVG的鍵合對準(zhǔn)系統(tǒng)的精度能滿足MEMS生產(chǎn)和3D集成應(yīng)用等新興領(lǐng)域中苛刻的對準(zhǔn)要求。

EVG610 BA-鍵合對準(zhǔn)機(jī) EVG鍵合機(jī)

二、EVG鍵合機(jī)特征

適用于EVG501和EVG510鍵合系統(tǒng)（晶圓鍵合機(jī)）

晶圓和基板尺寸可達(dá)150/200 mm

手動高精度對準(zhǔn)

手動底側(cè)顯微鏡

基于Windows系統(tǒng)的用戶界面

的多用戶概念（無限數(shù)量的用戶帳戶，各種訪問權(quán)限，不同的用戶界面語言）

桌面系統(tǒng)設(shè)計(jì)，占地面積小

支持IR對準(zhǔn)過程

研發(fā)和試生產(chǎn)線的低的擁有成本（TCO）

三、EVG鍵合機(jī)技術(shù)參數(shù)

1.基本配置：

臺式

機(jī)架：可選

隔振模式：被動

2.對準(zhǔn)方式：

背部對住精度：±2μm 3 σ

透射對準(zhǔn)精度：±1μm 3 σ

紅外對準(zhǔn)：可選

3.對準(zhǔn)臺：

高精度測微計(jì)：手動

可選：機(jī)械測微計(jì)

楔形補(bǔ)償：自動