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[供應(yīng)]EVG101-EVG101 勻膠機(jī) 微流控加工 光刻膠處理機(jī)

貨物所在地:上海上海市

產(chǎn)地:奧地利

更新時(shí)間:2025-02-07 21:00:07

有效期:2025年2月7日 -- 2025年8月7日

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研發(fā)和小規(guī)模生產(chǎn)中的單晶圓光刻膠加工。
EVG101 勻膠機(jī) 微流控加工 光刻膠處理機(jī)在單室設(shè)計(jì)上可以滿足研發(fā)工作,與EVG的自動(dòng)化系統(tǒng)*兼容。EVG101支持大300 mm的晶圓,可配置為旋涂或噴涂和顯影。

EVG101 勻膠機(jī) 勻噴膠機(jī) 光刻膠處理機(jī)

一、簡介

研發(fā)和小規(guī)模生產(chǎn)中的單晶圓光刻膠加工。

EVG101光刻膠處理系統(tǒng)在單室設(shè)計(jì)上可以滿足研發(fā)工作,與EVG的自動(dòng)化系統(tǒng)*兼容。EVG101支持zui大300 mm的晶圓,可配置為旋涂或噴涂和顯影。使用EVG先進(jìn)的OmniSpray涂層技術(shù),在3D結(jié)構(gòu)晶圓上實(shí)現(xiàn)光刻膠或聚合物的共形層,用于互連技術(shù)。這確保了高粘度光致光刻膠或聚合物的低材料消耗,同時(shí)改善了均勻性并防止了擴(kuò)散。


二、技術(shù)參數(shù):

晶圓尺寸:高達(dá)300mm(12寸)

支持模式:旋涂/ OmniSpray®/生長

晶圓支撐模式:單臂/雙EE/邊緣/翻動(dòng)

分配模式:

- 各種分配泵,可覆蓋高達(dá)52000cP的各種粘度

- 恒壓分配系統(tǒng)

- EBR / BSR /預(yù)濕/碗洗/液體灌注


三、特征:

晶圓尺寸可達(dá)300 mm

自動(dòng)旋涂或噴涂或使用手動(dòng)晶圓裝載/卸載進(jìn)行顯影

利用從研究到生產(chǎn)的快速簡便的過程轉(zhuǎn)換

成熟的模塊化設(shè)計(jì)和標(biāo)準(zhǔn)化軟件

注射器分配系統(tǒng),用于利用小的光刻膠體積,包括高粘度光刻膠

占地面積小,同時(shí)保持高水平的個(gè)人和過程安全性

多用戶概念(無限數(shù)量的用戶帳戶和程序,可分配的訪問權(quán)限,不同的用戶界面語言)

選項(xiàng):

- 采用OmniSpray®涂層技術(shù)均勻涂覆晶圓的高表面形貌

- 用于后續(xù)鍵合工藝的蠟和環(huán)氧樹脂涂層

- 旋涂玻璃(SOG)涂層



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