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[供應(yīng)]Photomask Blanks缺陷檢查 LODAS™ – BI8

貨物所在地：上海上海市

更新時間：2025-03-27 21:00:22

有效期：2025年3月27日 -- 2025年9月27日

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LODAS™ – BI8是列真株式會社推出的一款Photomask Blanks缺陷檢查裝置。

特征：

  • 可檢查鉻膜、半色調(diào)膜、光阻膜

  • 白缺陷、黑缺陷的自動判別

  • 不僅是表面缺陷，內(nèi)部缺陷和背面缺陷也同時檢查。

  • 有助于缺陷分析的4種Review圖像。

  • “AI Classify"進行缺陷分類、好壞判定。

  • 免維護。

  • 世界FIRST使用反射散射光、透射散射光、共聚焦光的混合檢查裝置。

  • 能檢出至今為止檢查不出的缺陷。

檢出缺陷：顆粒、劃痕、凹坑、氣泡。

規(guī)格：

  • 檢查激光：405nm 200mW LaserDiode

  • 檢查時間：180sec

  • 檢查對象：6英寸 Photomask blanks

  • 設(shè)備尺寸：WxDxH＝450x500x730mm

  • 使用電源：AC100V~200V 10A



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