干涉膜厚儀利用光學干涉原理來準確測量薄膜的厚度。 這種儀器通常采用非破壞性的測量技術,能夠在不損傷樣品的情況下進行測量,廣泛應用于電子、光學和包裝等多個領域。
干涉膜厚儀的工作原理基于光學干涉現象。當一束光照射到薄膜上時,部分光在表面反射,部分光透過薄膜并在底面反射回來,兩束光相遇時產生干涉現象。通過分析干涉圖案,可以計算出薄膜的厚度。這種測量方法具有高精度,通??梢赃_到納米或埃的量級。
干涉膜厚儀的應用范圍廣泛,包括但不限于測量光學鍍膜、手機觸摸屏ITO鍍膜、PET柔性涂布的膠厚、LED鍍膜厚度、建筑玻璃鍍膜厚度等。它還可以用于測量二氧化硅、氮化硅、硅、光刻膠等多種材料的薄膜厚度。
干涉膜厚儀主要由以下幾個部分組成:光源:提供單色光,光源可以是白熾燈或者激光,激光光源因其單色性好、方向性強而更為常用。
分光器:將光源發(fā)出的光分為兩條不同的路徑,一條是參考光路,另一條是待測光路。反射器:將待測物質的反射光聚焦到相應的檢測器上,以便進行測量。
檢測系統(tǒng):包括光電探測器和信號處理電路用于接收反射光信號并將其轉換為電信號進行處理和顯示。
綜上所述,干涉膜厚儀作為一種高精度、非接觸式的測量儀器,在多個領域都發(fā)揮著重要作用。隨著科技的不斷發(fā)展,干涉膜厚儀的性能和應用范圍也將不斷拓展和完善。