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這款三維表面形貌儀是德國進口的高精度多功能表面輪廓測量儀器，也是一款光學(xué)表面形貌儀,非常適合對表面幾何形狀和表面紋理分析，以標(biāo)準(zhǔn)方案或定制性方案對二維形貌或三維形貌表面形貌和表面紋理，微米和納米形狀，圓盤，圓度，球度，臺階高度，距離，面積，角度和體積進行多范圍測量。

三維表面形貌儀根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)計算2D和3D參數(shù)，使用的ISO 25178 標(biāo)準(zhǔn)表面紋理分析，依靠的 ISO 16610 濾除技術(shù)進行計算，從而保證了公信力。

三維表面形貌儀創(chuàng)造性地采用接觸式和非接觸式測量合并技術(shù)，一套表面形貌儀可同時具有接觸式和非接觸式測量的選擇。

三維表面形貌儀參數(shù)：
定位臺行程范圍：X: 200 mm    Y: 200 mm    Z: 200 mm (電動)
接觸式測量范圍： 范圍0.1mm, 分辨率2nm, 速度 3mm/s
                                范圍2.5mm 分辨率40nm, 速度3mm/s

非接觸式測量范圍：
    范圍：300um, 分辨率2nm, 速度30mm/s
                 范圍：480um, 分辨率2nm, 速度30mm/s
                 范圍：1mm,     分辨率5nm,  速度30mm/s
                 范圍：3.9mm , 分辨率15nm, 速度30mm/s

表面形貌儀應(yīng)用：測量輪廓，臺階高度，表面形貌，距離，面積，體積
        分析形態(tài)，粗糙度，波紋度，平整度，顆粒度
        摩擦學(xué)研究，光譜分析

三維表面形貌儀廣泛用于：磨料磨具，航天，汽車，化妝品，能源，醫(yī)療，微機電系統(tǒng)，冶金，造紙和塑料等領(lǐng)域。