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目錄:孚光精儀(中國)有限公司>>進(jìn)口顯微鏡>>顯微鏡成像系統(tǒng)>> FPORS-FIB聚焦離子束蝕刻系統(tǒng)

聚焦離子束蝕刻系統(tǒng)
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  • 聚焦離子束蝕刻系統(tǒng)
參考價(jià)1200000-1800000/件
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

參考價(jià):¥1200000 ~ ¥1800000

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 孚光精儀 品牌
  • FPORS-FIB 型號(hào)
  • 經(jīng)銷商 廠商性質(zhì)
  • 上海市 所在地

更新時(shí)間:2024-12-16 12:00:41瀏覽次數(shù):597評(píng)價(jià)

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應(yīng)用領(lǐng)域 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,生物產(chǎn)業(yè),電子
這套聚焦離子束蝕刻系統(tǒng)是一種超高真空UHV條件多功能FIB系統(tǒng),既可以配置為掃描電子顯微鏡SEM,也可以配置為結(jié)合SEM和高性能聚焦離子束FIB的雙束平臺(tái)。
這套聚焦離子束蝕刻系統(tǒng)是一種超高真空UHV條件多功能FIB系統(tǒng),既可以配置為掃描電子顯微鏡SEM,也可以配置為結(jié)合SEM和高性能聚焦離子束FIB的雙束平臺(tái)。

這套聚焦離子束蝕刻系統(tǒng)采用模塊化結(jié)構(gòu),允許大量選擇符合終端用戶特定需求和目標(biāo)的SEM和FIB柱。為要求無污染環(huán)境的樣品提供最佳、完整和定制的FIB納米加工、表面分析解決方案。

聚焦離子束蝕刻系統(tǒng)特點(diǎn)

全高真空設(shè)計(jì)-無污染:是第一臺(tái)超高壓設(shè)計(jì)的FIB-SEM儀器

*可定制的系統(tǒng)-超高壓納米空間可以定制,以便*特定需求。

在選擇時(shí)給予了*的靈活性-FIB柱、SEM柱、注氣系統(tǒng)和其他附加配件,視要求而定

高質(zhì)量設(shè)計(jì)-*的條件和*的雙光束幾何允許

原位掃描電鏡與優(yōu)質(zhì)二次鋼的相關(guān)性

單個(gè)儀器中的離子質(zhì)譜圖像

高分辨率成像-納米空間可以集成靜電掃描電鏡或,既能產(chǎn)生高質(zhì)量圖像的磁性掃描電鏡

準(zhǔn)確的樣品控制-超高真空兼容6軸工作臺(tái)允許裝載樣品,長(zhǎng)度和寬度小于或等于100 mm

全自動(dòng)儀器-納米空間控制和成像軟件,符合人體工程學(xué),易于使用。真空系統(tǒng)*關(guān)閉自動(dòng)化,以確保安全,快速和方便的真空操作

特高壓連接-特高壓中間室的設(shè)計(jì)是為了確保與特高壓第三方*連接的儀表,系統(tǒng)、工藝集群或同步加速器束線

還可以配備超高壓兼容的氣體注入系統(tǒng)(GIS),用于局部金屬沉積和選擇性蝕刻。也可以通過超高壓中間室與第三方系統(tǒng)(如MBE集群、表面分析儀器)進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)連接。這種連接性拓寬了納米空間的應(yīng)用范圍。


聚焦離子束蝕刻系統(tǒng)

 Vacuum Performances

Main Chamber Vacuum

5.10-10 mbar


UHV Configuration

Maximum instrument bakeout

temperature is 120°C


Sample Main Chamber Introduction

30 min







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