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目錄:孚光精儀(中國)有限公司>>進(jìn)口顯微鏡>>顯微鏡成像系統(tǒng)>> FPNAN-NS-3500高速共焦激光掃描顯微鏡

高速共焦激光掃描顯微鏡
  • 高速共焦激光掃描顯微鏡
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  • 高速共焦激光掃描顯微鏡
參考價 面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
參考價 面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 品牌 其他品牌
  • 型號 FPNAN-NS-3500
  • 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
  • 所在地 上海市
屬性

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更新時間:2024-08-27 11:27:44瀏覽次數(shù):765評價

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產(chǎn)地類別 進(jìn)口 價格區(qū)間 面議
儀器種類 超高速激光共聚焦顯微成像系統(tǒng) 應(yīng)用領(lǐng)域 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,生物產(chǎn)業(yè),電子,生命科學(xué)及材料
應(yīng)用領(lǐng)域 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,生物產(chǎn)業(yè),電子,生命科學(xué)及材料
這款高速共焦激光掃描顯微鏡(CLSM),用于精確可靠的三維(3D)測量。通過快速光學(xué)掃描模塊和信號處理算法實現(xiàn)了實時共焦顯微圖像,廣泛用于微納尺度的臺階高度測量,寬度測量,長度測量等。

高速共焦激光掃描顯微鏡(CLSM),用于精確可靠的三維(3D)測量。通過快速光學(xué)掃描模塊和信號處理算法實現(xiàn)了實時共焦顯微圖像,廣泛用于微納尺度的臺階高度測量,寬度測量,長度測量等。廣泛用于半導(dǎo)體晶片、平板產(chǎn)品、MEMS器件、玻璃基板、材料表面等微觀三維結(jié)構(gòu)的測量和檢測。
高速共焦激光掃描顯微鏡特點(diǎn)
 -高分辨率無損光學(xué)三維測量
-實時共焦成像
-各種光學(xué)變焦
-同時亮場和共焦成像
-具有精細(xì)自動聚焦的自動增益搜索
-傾斜補(bǔ)償
-簡易分析模式
-精密可靠的高速測高
-通過半透明基板檢查特征
-無樣品制備
-寬范圍檢測的圖像拼接
高速共焦激光掃描顯微鏡
高速共焦激光掃描顯微鏡應(yīng)用
 這款共焦顯微鏡可以測量微納結(jié)構(gòu)的高度,寬度,角度,面積,體積,比如?
半導(dǎo)體領(lǐng)域:IC圖案、凸起高度、線環(huán)高度,缺陷檢查,CMP工藝
FPD產(chǎn)品:觸摸屏檢查,ITO圖案,LCD列間隔高度
MEMS設(shè)備–結(jié)構(gòu)的三維輪廓,表面粗糙度,MEMS圖形
玻璃表面-薄膜太陽能電池,太陽能電池紋理,激光圖形
材料研究-工裝表面檢查,糙度、裂紋分析
高速共焦激光掃描顯微鏡
高速共焦激光掃描顯微鏡規(guī)格參數(shù)

規(guī)格顯微鏡NS-3500Remark
控制器NS-3500E
物鏡倍數(shù)10×20×50×100×150×
觀察 /測量范圍水平 (H): μm140070028014093
豎直 (V): μm105052521010570
工作距離: mm16.53.10.540.30.2
豎直孔徑 (N.A.)0.300.460.800.950.95
光學(xué)放大×1 ~ ×6
總放大178× ~ 26700×
觀察/測量的光學(xué)系統(tǒng)小孔Pinhole共聚焦光學(xué)系統(tǒng)
高度測量(臺階模式)測量掃描范圍Fine scan : 100 μm (and/or) Long scan : 7 mm [NS-3800-L]Note 1
Fine scan : 400 μm (and/or) Long scan : 10 mm [NS-3800-D
Fine scan : 200 μm (or) Long scan : 10 mm [NS-3800-T]
顯示分辨率0.001 μm
重復(fù)精度 σ0.010 μmNote 2
寬度測量顯示分辨率0.001 μm
重復(fù)精度3σ0.02 μmNote 3
幀內(nèi)存像素計數(shù)1024×768, 1024×384, 1024×192, 1024×96
共聚焦圖像圖像12 bit
彩色圖像8-bit for RGB each
高度測量16 bit
幀頻表面掃描20 Hz to 160 Hz
線掃描~8 kHz
自動功能自動聚焦
光束光源波長Violet laser, 405 nm
輸出~2 mW
激光光源Class 3b
激光探測器PMT (photomultiplier tube)
數(shù)據(jù)處理Dedicated PC
供電要求供電要求100 to 240 VAC, 50/60 Hz
電流消耗500 VA max.
重量顯微鏡Approx. ~ 8 kg
控制器~8 kg
  • Note 1 :

    Fine scan is performed by piezoelectric actuator (PZT).
    Dual scan mode by fine and long scanner is available only for single lens type.

  • Note 2 :

    100 times measurement of standard sample (1μm step height) with 100× / 0.95 objective.

  • Note 3 :

    100 times measurement of standard sample (5μm pitch) with 100× / 0.95 objective.

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