目錄:孚光精儀（中國）有限公司>>半導體微電子設備>>等離子體處理>> FPGEN-2000-Nano納米涂層浸涂系統(tǒng)
| 產(chǎn)地類別 | 進口 | 應用領域 | 能源,電子,綜合 |
|---|
納米涂層浸涂系統(tǒng)是實驗室小批量涂層設備,設計用于通過浸涂將保形涂層和光刻膠高精度應用到基材上,用于各種超精密涂層應用，從<60nm到>50μm均可浸漬浸涂,浸涂精度>3%。納米涂層浸漬系統(tǒng)是*氣動的，可與包括易燃液體在內(nèi)的所有涂層一起使用，并適用于廣泛的應用。
納米涂層浸涂系統(tǒng)的浸涂技術是應用保形涂層的有效方法，無論是在效率、生產(chǎn)率還是成本方面。大批量生產(chǎn)商設計其組件時，應確保不應涂覆的任何組件（例如連接器、微調(diào)器、預設、開關）位于組件的一側。
納米涂層浸涂系統(tǒng)DC 2000 NANO是一種小型實驗室批量涂層系統(tǒng)，設計用于通過浸涂將保形涂層和光刻膠高精度應用到基材上。氣動油上空氣系統(tǒng)確保基板載體在浸入和抽出沖程期間呈現(xiàn)平穩(wěn)的“無抖動"運動。其速度可精確調(diào)節(jié)，以適應各種材料的粘度。這會產(chǎn)生非常平滑且均勻的涂層效果。
納米涂層浸涂系統(tǒng)DC 2000 NANO非常適合于小批量生產(chǎn)商，并且可以輕松適應多種不同類型的涂層。
納米涂層浸涂系統(tǒng)規(guī)格參數(shù)
從<60nm到>150μm的精密涂層@±3%的精度
在各種基材上進行超精密噴涂
速度控制：浸入和抽出時均小于0.5毫米/秒
精度：±3%FSD（全量程）
行程范圍：~35mm至>2米
使用的（OPC）油氣回路，*無抖動操作
沖程/浸漬范圍：高達12英寸或者300mm
浸槽尺寸：300L x 120W X 300D mm
支架尺寸：220L x 80W x 220D mm (3.75 Litres)
9
化工儀器網(wǎng)