目錄:孚光精儀（中國）有限公司>>半導(dǎo)體微電子設(shè)備>>等離子體處理>> FPGEN-2000-Nano納米涂層浸涂系統(tǒng)
| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 能源,電子,綜合 |
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納米涂層浸涂系統(tǒng)是實(shí)驗(yàn)室小批量涂層設(shè)備,設(shè)計(jì)用于通過浸涂將保形涂層和光刻膠高精度應(yīng)用到基材上,用于各種超精密涂層應(yīng)用，從<60nm到>50μm均可浸漬浸涂,浸涂精度>3%。納米涂層浸漬系統(tǒng)是*氣動的，可與包括易燃液體在內(nèi)的所有涂層一起使用，并適用于廣泛的應(yīng)用。
納米涂層浸涂系統(tǒng)的浸涂技術(shù)是應(yīng)用保形涂層的有效方法，無論是在效率、生產(chǎn)率還是成本方面。大批量生產(chǎn)商設(shè)計(jì)其組件時(shí)，應(yīng)確保不應(yīng)涂覆的任何組件（例如連接器、微調(diào)器、預(yù)設(shè)、開關(guān)）位于組件的一側(cè)。
納米涂層浸涂系統(tǒng)DC 2000 NANO是一種小型實(shí)驗(yàn)室批量涂層系統(tǒng)，設(shè)計(jì)用于通過浸涂將保形涂層和光刻膠高精度應(yīng)用到基材上。氣動油上空氣系統(tǒng)確保基板載體在浸入和抽出沖程期間呈現(xiàn)平穩(wěn)的“無抖動"運(yùn)動。其速度可精確調(diào)節(jié)，以適應(yīng)各種材料的粘度。這會產(chǎn)生非常平滑且均勻的涂層效果。
納米涂層浸涂系統(tǒng)DC 2000 NANO非常適合于小批量生產(chǎn)商，并且可以輕松適應(yīng)多種不同類型的涂層。
納米涂層浸涂系統(tǒng)規(guī)格參數(shù)
從<60nm到>150μm的精密涂層@±3%的精度
在各種基材上進(jìn)行超精密噴涂
速度控制：浸入和抽出時(shí)均小于0.5毫米/秒
精度：±3%FSD（全量程）
行程范圍：~35mm至>2米
使用的（OPC）油氣回路，*無抖動操作
沖程/浸漬范圍：高達(dá)12英寸或者300mm
浸槽尺寸：300L x 120W X 300D mm
支架尺寸：220L x 80W x 220D mm (3.75 Litres)
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)
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