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電容膜片真空計應(yīng)用范圍:
1,要求高的應(yīng)用條件下,而快速的壓強測量:
2,用于刻蝕,CVD, PVD, ALD半導(dǎo)體制造設(shè)備
3,資料貯存和顯示器制造設(shè)備
4,工業(yè)真空設(shè)備
5,常用高精度真空測量
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