如何選擇INFICON真空計
　　
　　一，皮拉尼真空計
　　
　　1.皮拉尼真空計原理
　　
　　加熱電阻絲，使之升溫至需要的工作溫度
　　
　　由于氣體粒子與電阻絲碰撞離開時帶走了能量，電阻絲的溫度會發(fā)生變化
　　
　　熱絲的能量損失與熱絲周圍的氣體濃度及氣體成分成比例關系
　　
　　2.衍生出兩種類型的皮拉尼規(guī)
　　
　　1，穩(wěn)定溫度，測量施加的電壓變化等效測量真空度（INFICONPSG500）
　　
　　2，穩(wěn)定電壓，測量溫度變化等效測量真空度（熱偶規(guī)）
　　
　　3.氣體的熱傳導，與下列提條件有關:
　　
　　1，氣體類型
　　
　　2，壓力大小
　　
　　4.皮拉尼真空計測量范圍與精度
　　
　　測量范圍（空氣,氧氣,一氧化碳,氮氣）：5x10-4至1000mbar
　　
　　精度（氮氣）:1x10-3…100毫巴±15%
　　
　　5x10-4…1x10-3毫巴±50%
　　
　　100...1000毫巴±50%
　　
　　5.皮拉尼真空計的優(yōu)特點
　　
　　燈絲部分在不影響精度與速度的情況下，加以zui大的保護，大大延長了燈絲的使用壽命
　　
　　6.皮拉尼真空計具體型號
　　
　　lPSG050/051
　　
　　lPSG100-SPSG101-S
　　
　　lPSG500/500-SPSG502
　　
　　l皮拉尼電容膜片復合真空計PCG400PCG410PCG550
　　
　　1.有皮拉尼規(guī)與特制的陶瓷薄膜規(guī)合成在一起
　　
　　2.兩種原理的規(guī)管全過程都工作
　　
　　3.100mbar—1000mbar使用薄膜規(guī)信號
　　
　　4.1mbar–100mbar兩規(guī)信號同時采用
　　
　　5.5x10-4mbar–1mbar采用皮拉尼信號
　　
　　6.輸出的真空度信號（電壓）連續(xù)，無跳躍
　　
　　7.皮拉尼真空計應用行業(yè)
　　
　　l各種高真空泵的前級壓力測量，如光伏，鍍膜，等離子行業(yè)
　　
　　l各種中低真空測量，如照明，冶金
　　
　　l真空連鎖控制，高真空計的點火開關控制，如PEG100
　　
　　lPSG050可*替代TR211，PSG051可*替代TR216
　　
　　lPCG400PCG410（現(xiàn)在已升級為PCG550，PCG400/PCG410已經(jīng)停產(chǎn)）與PSG500基本相同，但彌補了皮拉尼規(guī)大氣測量段精度不足的弱點，而且不受氣體類型的影響，在真空爐，單晶爐，多晶爐，藍寶石爐上廣泛應用
　　
　　lPSG100PSG101，與PSG500/PSG050基本相同，但因為具有通訊協(xié)議功能，在大系統(tǒng)中應用廣泛
　　
　　二，電容薄膜規(guī)CDG025D/CDG045/100/160/200
　　
　　1.電容薄膜規(guī)工作原理
　　
　　l壓力使膜片變形，變形量與壓力大小成比例關系
　　
　　l通過測量不同壓力下的陶瓷膜片的變形量測量真空度
　　
　　2.電容薄膜規(guī)特點
　　
　　l以可靠的超純陶瓷傳感器室為基礎構成
　　
　　l在嚴酷和腐蝕性環(huán)境中,穩(wěn)定與可靠的高精度壓強測量
　　
　　l快速的預熱和恢復時間,提高生產(chǎn)率
　　
　　l的長期穩(wěn)定性,再現(xiàn)性和重復性
　　
　　l由于電子學直接安裝在傳感器上,改進了溫度補償和EMC兼容性
　　
　　l對環(huán)境條件變化的敏感度的降低使得測量更穩(wěn)定
　　
　　l快速預熱在開機的一分鐘內(nèi)達到快速穩(wěn)定和進入準備使用狀態(tài)
　　
　　l一鍵按鈕:調(diào)零功能和設點調(diào)整
　　
　　l抗腐蝕超純陶瓷傳感器
　　
　　l能經(jīng)受數(shù)百萬次壓強循環(huán)周期,包括大氣壓沖擊,無任何降低性能的跡象
　　
　　l暴露大氣壓后快速恢復,無需隔離閥
　　
　　l對蒸氣介質(zhì)不敏感
　　
　　*進的傳感器屏蔽（）延長真空計在污染的工藝過程中的使用壽命
　　
　　3.INFICON陶瓷技術
　　
　　l陶瓷技術的*性
　　
　　1，無“記憶”效應
　　
　　2，陶瓷無疲勞問題
　　
　　3，的溫度補償
　　
　　4，的零點穩(wěn)定性
　　
　　l低使用成本
　　
　　1.非凡的使用壽命
　　
　　2.無需隔離閥
　　
　　4.SkyCDG025D測量范圍
　　
　　5.加熱型薄膜規(guī)
　　
　　6.加熱型優(yōu)點
　　
　　l零飄極小0.1%FS/年（干凈真空環(huán)境）
　　
　　l更高的精度
　　
　　l環(huán)境溫度變換/環(huán)境壓力變化/環(huán)境氣流變化對精度無影響
　　
　　l比工藝更快的預熱啟動時間’
　　
　　l快速恢復時間大氣壓<1minwithin5mV
　　
　　l任意安裝角度
　　
　　l抗污染，可有效抵抗工藝氣體或工藝產(chǎn)生氣體的腐蝕影響
　　
　　7.電容薄膜規(guī)的應用
　　
　　要求高的應用條件下，而快速的壓強測量
　　
　　l用于刻蝕，CVD,PVD,ALD半導體設備制造，如太陽能光伏行業(yè)的PECVD用的很多，刻蝕上一般用陶瓷型的CDG025D-X3比較多，抗污染性能比較好。一般國內(nèi)用的PECVD還有多晶爐上用的MKS的電容薄膜規(guī)622A/626A/627D和INFICON的CDG025D比較多，如德國Ruth&Rau公司的PECVD設備標配產(chǎn)品為MKS的626B13TDE和627D01TDC1B,質(zhì)量流量計用的是1179BX23CR14VSPC1800sccm/SiH4和1179BX5CR14NSPC12000sccm/NH3，國內(nèi)用的好多PECVD設備上用的是INFICON的CDG025D。
　　
　　l資料貯存和顯示器制造設備
　　
　　l工業(yè)真空設備
　　
　　l常用高精度真空測量
　　
　　三，熱電離規(guī)
　　
　　1.熱電離規(guī)原理
　　
　　Richardson效應:高溫燈絲發(fā)射電子，高能量電子撞擊氣體分子，氣體分子的一個或多個電子被撞擊出去，形成帶正電的離子
　　
　　1）帶電離子被離子收集極捕捉收集放大輸出
　　
　　2）離子流的大小與氣體壓力成比例關系
　　
　　2.兩種類型熱電離規(guī)
　　
　　3.熱電離型復合規(guī)
　　
　　lHPG400
　　
　　lBPG400/-SP/-SD/SR
　　
　　lBPG402
　　
　　lBCG450B-A規(guī)，皮拉尼規(guī)，薄膜規(guī)三種型號復合在一起
　　
　　l
　　
　　4.優(yōu)點及應用
　　
　　lBPG
　　
　　n測量范圍寬，一個規(guī)管覆蓋13個量程5x10-10–1000mbar
　　
　　n精度高，*的重復性5%
　　
　　n燈絲材料鍍釔的銥絲有*的抗氧化能力，皮拉尼自鎖保護，使燈絲并不會因突然暴露大氣而燒毀。
　　
　　n方便的校準調(diào)節(jié)
　　
　　n注意事項：
　　
　　u對氣體有選擇性
　　
　　u抗污染能力弱
　　
　　n普遍應用于從低到超高真空的測量
　　
　　n在工業(yè)，半導體，研究行業(yè)應用廣泛
　　
　　lBPG402
　　
　　n雙燈絲，大大延長使用壽命
　　
　　n電離規(guī)的工作可以自定義控制
　　
　　n探頭備件自帶校準參數(shù)，保證精度與重復性
　　
　　lHPG400
　　
　　n電離規(guī)與皮拉尼的復合
　　
　　n皮拉尼自鎖保護電離規(guī)
　　
　　n電離規(guī)的工作啟動點可以一定范圍內(nèi)自定義
　　
　　n簡易的校準功能
　　
　　n相對便宜的價格
　　
　　lBCG450
　　
　　n可調(diào)的電離規(guī)工作起點
　　
　　n的重復性
　　
　　n的大氣端測量
　　
　　四，冷電離規(guī)（潘寧規(guī)）
　　
　　1.冷電離規(guī)原理
　　
　　通過氣體放電方式產(chǎn)生電子，通過磁場使電子獲得能量將氣體分子電離
　　
　　2.潘寧規(guī)特點與應用
　　
　　l測量范圍：5x10-9to1x10-2mbar
　　
　　l全金屬密封
　　
　　l無燈絲
　　
　　l易清洗
　　
　　l應用于普通的高真空測量
　　
　　3.冷規(guī)復合規(guī)MPG400特點與應用
　　
　　l冷規(guī)與皮拉尼規(guī)的復合
　　
　　l測量范圍廣：5x10-9-1000mbar
　　
　　l易于保養(yǎng)清洗
　　
　　l無高真空燈絲，
　　
　　l應用于普通高真空測量
　　
　　4.冷規(guī)及復合規(guī)性能比較