VAT真空閘閥型號：

S01.2 S10系列mini型閘閥介紹：

1、特點(diǎn)：VAT真空閘閥該閥門具有模塊化驅(qū)動(dòng)器，結(jié)果緊湊，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)和科研研究

2、漏率： 10-9mbar.l/s

3、材質(zhì)：不銹鋼，鋁

4、密封方式：波紋管密封

5、控制方式：手動(dòng)、氣動(dòng)

6、法蘭接口：ISO-KF, ISO-K, CF-R

7、接口尺寸：DN16 to 50 mm

S80、S81、S12系列閘閥介紹：

1、漏率： 10-9mbar.l/s

2、材質(zhì)：鋁

3、密封方式：shaft feedthrough

4、控制方式：手動(dòng)、氣動(dòng)

5、法蘭接口：ISO-KF, ISO-F, JIS, DIN insert

6、接口尺寸：I.D. 16 to 320 mm (?" to 12")(for sizes > DN 320 see series 19)

S 14系列閘閥介紹：

1、漏率： 10-9mbar.l/s

2、材質(zhì)：不銹鋼

3、密封方式：rotary feedthrough

4、控制方式：手動(dòng)、氣動(dòng)

5、法蘭接口：ISO-F, CF-F, ASA-LP, ASA, JIS

6、接口尺寸：I.D. 63 to 400 mm (2?" to 16")

S 48系列全金屬閘閥介紹：

1、漏率： 10-10mbar.l/s

2、材質(zhì)：不銹鋼

3、密封方式：全金屬密封

4、控制方式：手動(dòng)、氣動(dòng)

5、法蘭接口： CF-F

6、接口尺寸：I.D. 63 to 320mm (2?" to 12")