IE414,IE514熱電離真空計(jì)

IE414 和 IE514 是基于熱陰極電離效應(yīng)的真空傳感器。IE414 是一種 Bayard-Alpert 真空計(jì)，而 IE514 則基于抽氣機(jī)原理。這些無源真空計(jì)由 IM540 真空計(jì)控制器組合和控制。

通過調(diào)節(jié)陰極發(fā)射電流，IE414 的測(cè)量范圍從 10-2毫巴到10 -11毫巴，跨度超過 9 個(gè)分度。由于采用了萃取器原理，IE514 可以達(dá)到 2×10-12mbar 的測(cè)量下限，這要?dú)w功于其本身減少了 X 射線和離子解吸效應(yīng)。IE414 和 IE514 真空計(jì)頭專為低放氣真空系統(tǒng)設(shè)計(jì)，可在非常高溫度（400 °C）下烘烤。耐高溫真空計(jì)頭電纜套件也可用于超過 200 °C（傳感器法蘭處為 250 °C）的高溫烘烤。

優(yōu)勢(shì)

采用單獨(dú)校準(zhǔn)的傳感系統(tǒng)，測(cè)量精度高

可更換陰極

非常高的高溫烘烤溫度可達(dá) 400 °C

IE414

Bayard-Alpert 傳感原理

測(cè)量范圍達(dá) 2×10-11毫巴

陰極發(fā)射電流調(diào)制（與 IM540 真空計(jì)控制器結(jié)合使用）

IE514

抽氣機(jī)傳感原理

低測(cè)量極限，低至 2×10-12mbar

顯著降低 X 射線和離子解吸效應(yīng)

典型應(yīng)用

需要在超高真空范圍內(nèi)進(jìn)行精確真空測(cè)量和高溫烘烤的科學(xué)和研發(fā)應(yīng)用

運(yùn)營(yíng)單位

真空計(jì)控制器 IM540

規(guī)格

IE414,IE514熱電離真空計(jì)