全量程真空計，351-010

INFICON的冷陰極和皮拉尼的復(fù)合真空規(guī) MPG400和MPG401, 測量范圍從 5x10-9毫巴至大氣壓（3.8 x10-9乇至大氣壓）.將兩種測量方式組合在一個具有對數(shù)模擬輸出的小型單元內(nèi),大大地降低了安裝,設(shè)置和集成的復(fù)雜性.

皮拉尼冷陰極復(fù)合真空規(guī)MPG400的優(yōu)點：

■復(fù)合真空規(guī)—冷陰極與皮拉尼

■寬的壓強(qiáng)測量范圍從5X10^-9毫巴至大氣壓

■無可燒毀的燈絲

■超卓的引燃功能

■易清洗

■FPM或金屬密封的饋入件

■高壓加上時LED指示燈亮

■對數(shù)模擬輸出訊號

皮拉尼冷陰極復(fù)合真空規(guī)MPG400的應(yīng)用：

■高真空壓強(qiáng)監(jiān)測

■蒸發(fā)和濺射系統(tǒng)的壓強(qiáng)測量

■一般真空測量和控制，從中至高真空范圍

全量程真空計，351-010