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杭州太昊科技有限公司
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當前位置:杭州太昊科技有限公司>>INFICON殘余氣體分析儀>>殘余氣體分析儀>> Transpector 2四極質(zhì)譜儀

四極質(zhì)譜儀

參  考  價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號Transpector 2

品       牌其他品牌

廠商性質(zhì)代理商

所  在  地杭州市

更新時間:2024-01-24 10:27:40瀏覽次數(shù):7501次

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產(chǎn)地類別 進口 價格區(qū)間 面議
應(yīng)用領(lǐng)域 電子,綜合
INFICON(英福康)四極質(zhì)譜儀(RGA)簡易的高功能儀器用于監(jiān)測真空系統(tǒng),準確地辨別常規(guī)的殘余氣體,便于及時檢測真空問題與快速解除故障。這臺全內(nèi)置的儀器可容易地連接任何真空室,內(nèi)置程序和TCP/IP接口,用于控制ToolCheck和運行于系統(tǒng)控制器的標準網(wǎng)頁瀏覽器查閱結(jié)果,無需外接計算機。 簡單的指令組易于寫入用戶特定的碼,將ToolCheck集成于您的系統(tǒng)控制器。

INFICON(英福康)四極質(zhì)譜儀(RGA)有簡易的高功能儀器用于監(jiān)測真空系統(tǒng),準確地辨別常規(guī)的殘余氣體,便于及時檢測真空問題與快速解除故障。這臺全內(nèi)置的儀器可容易地連接任何真空室,內(nèi)置程序和TCP/IP接口,用于控制ToolCheck和運行于系統(tǒng)控制器的標準網(wǎng)頁瀏覽器查閱結(jié)果,無需外接計算機。 簡單的指令組易于寫入用戶特定的碼,將ToolCheck集成于您的系統(tǒng)控制器。

Transpector 2的特點:

1、100-, 200-,和 300-amu 系統(tǒng)帶法拉第杯或電子倍增器 / 法拉第杯的組合。

2、改進的氫檢測。

3、與原始的 Transpector 相比訊噪比提高 10 倍。

4、快速掃描低值訊號。

5、個量級的電子學動態(tài)量程。

6、用于單傳感器和多傳感器系統(tǒng)的軟件選件。

7、分壓測量從 1 × 10 -4 乇至 2 × 10 -14 乇。

Transpector 2 是基于四極場的智能傳感器,全部傳感器電子驅(qū)動加上微處理器安裝在一個附在傳感器上的小型、輕便的密閉匣內(nèi)。由于它是智能的傳感器,具有相當?shù)撵`活度,您可以使用當前的計算機或從 INFICON 選購 PC 和軟件包。兩種通訊鏈接, RS232 用于單傳感器, RS485 用于多傳感器配置,將 Transpector2  連接控制計算機。簡單的指令協(xié)議支配全部 Transpector功能。


RGA殘余氣體分析儀(四極質(zhì)譜儀)應(yīng)用:

1、檢漏

2、真空設(shè)備本底狀況鑒定

3、在線工藝氣體監(jiān)測分析

4、真空系統(tǒng)泄漏(內(nèi)漏,外漏)

5、可設(shè)置報警點,實現(xiàn)報警功能

與氦質(zhì)譜檢漏儀的區(qū)別:


RGA氦質(zhì)譜檢漏儀
示漏氣體氦氣或其他任何示漏氣體氦氣
可檢漏類型內(nèi)漏外漏外漏
顯示

TWare32軟件檢漏模式/監(jiān)控模式

(離子流/分壓強)

顯示面板(漏率)

真空系統(tǒng)本底狀態(tài)鑒定

在系統(tǒng)達到極限真空時測定殘余氣體的種類和量值


真空系統(tǒng)污染監(jiān)測和控制

清洗介質(zhì)殘留,返油(碳氫化合物),表面放氣(空氣, H2O,   O2, CO, CO2)

通過軟件中的標準氣體庫,可確定氣體成分


真空工藝監(jiān)控

在線監(jiān)控:實時反映工藝異常或偏差

數(shù)據(jù)按時間自動存儲(SOD文件)以便日后追溯進行工藝分析:

繼電器輸出可用于控制閥門

模擬輸出可連線PLC


鍍膜工藝研究開發(fā)

各種工藝氣體的相對比例對工藝/產(chǎn)品的影響

RGA的選用 - 為您的鍍膜機選擇合適的RGA

小可檢分壓強(MDPP)

法拉第杯(FC):  3 x 10-13 Torr

電子倍增器(EM)+法拉第杯(FC):10-14~10-15 Torr


質(zhì)量數(shù)(AMU)

取決于需要探測的氣體

100AMU傳感器 探測范圍: 1-100AMU

200AMU傳感器 探測范圍: 1-200AMU

300AMU傳感器 探測范圍: 1-300AMU

絕大多數(shù)工業(yè)應(yīng)用僅需100AMU傳感器


工作壓強范圍

標準RGA: < 5 x 10-4 Torr

高壓強型XPR3: < 1 x 10-2 Torr

若需在更高壓強下工作, 須使用取樣系統(tǒng)(IPC400)


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