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MDX 系列500 W直流電源

MDX 500 直流電源在真空環(huán)境中經(jīng)久耐用，能夠在磁控環(huán)境中對不同類型的弧進(jìn)行多級抑制和滅弧。在基本磁控濺射、射頻偏壓直流濺射以及直流偏壓射頻濺射中表現(xiàn)*。其小巧的尺寸使其非常適合于實驗室系統(tǒng)和小規(guī)模的生產(chǎn)環(huán)境。

MDX 500 直流電源優(yōu)勢：

• 超載內(nèi)置保護(hù)
• 可靠性和耐用性
• 快速反應(yīng)時間
• 兼容性認(rèn)證

MDX 500 直流電源特點：

• 多級弧抑制及滅弧
• 用戶I/O接入
• 功率、電流或電壓調(diào)節(jié)功能 

規(guī)格：

●輸入電壓：90-132VAC（50-60HZ），1Φ

          180-265VAC（50-60HZ），1Φ

●輸入電流：10A @120VAC @500W

          6.3A @230VAC @500W

●輸出電壓/電流：0-600V @0-1A，500W

               0-1200V @0-0.5A，2000W

●輸出功率：0-500W

●尺寸：（單）86.63×215.9×406.4mm（高×寬×長）

     （雙）86.63×482.6×406.4mm（高×寬×長）

●重量：（單）5.57KG

     （雙）11.14KG

MDX 500W

 

1 kW 和1.5 kW

MDX 系列1 kW 和1.5 kW 電源在真空環(huán)境中經(jīng)久耐用，其小巧的尺寸使其成為實驗室系統(tǒng)的理想解決方案。它們zui常用作直流磁控濺射電源；在該領(lǐng)域，二者精密的調(diào)節(jié)性能、*的滅弧功 能和較低的存儲輸出能量使之成為業(yè)界產(chǎn)品。它們還在射頻濺射和蝕刻系統(tǒng)中被用作精密調(diào)節(jié)的偏壓電源。

優(yōu)勢:

●針對標(biāo)準(zhǔn) Z 和低 Z 應(yīng)用的兩種配置

●高頻開關(guān)電路從線路到負(fù)載的效率超過90% 

●Arc-Out™ 抑制電路

●常用作直流磁控濺射電源

特點:

●尺寸小

●輸出紋波很低

●可調(diào)節(jié)抑弧時間

規(guī)格：

●輸出功率：MDX 1KW：1000W，MDX 1.5KW：1500W

●輸出電壓：1000V，1300V；500V，750V

●點火電壓：1500V；900V，1200V

●輸入電壓/電流：MDX 1KW：115VAC，50/60HZ±10%，16Amax；

   208/220VAC 50/60HZ±10%，8.9A

●MDX 1.5KW：208/220VAC 50/60HZ±10%，13.4A

●尺寸：175.3×266.7×400mm

●重量：8.6KG

MDX 1KW、1.5KW