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MKS擁有波紋管密封真空角閥的完整產(chǎn)品系列，對ISO-KF、ISO-通用型、ASA、CF法蘭和焊樁產(chǎn)品，其尺寸從3/4" 到6"都有。150系列閥門具有長的設(shè)計(jì)壽命，適用于高頻度使用的場合。其固有簡潔性和出色的設(shè)計(jì)使它們可以應(yīng)用于半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備中，在這些設(shè)備中往往存在著化學(xué)污染和顆粒沾污。該系列產(chǎn)品還可以用于等離子物理和核加速器等領(lǐng)域中的高級研究應(yīng)用中。它通常具有數(shù)十萬個(gè)開/關(guān)周期的工作壽命。

150 系列閥門

帶有ISO法蘭的150系列角閥

零件編號	描述	連接方式	限位開關(guān)	電磁閥
帶有ISO法蘭的150系列角閥手動
151-0016K	手動角閥	ISO-KF NW 16	否	否
151-0025K	手動角閥	ISO-KF NW 25	否	否
151-0040K	手動角閥	ISO-KF NW 40	否	否
151-0050K	手動角閥	ISO-KF NW 50	否	否
151-0063P	手動角閥	ISO-通用型 NW 63	否	否
151-0080P	手動角閥	ISO-通用型 NW 80	否	否
帶有ISO法蘭的150系列角閥氣動
152-0016K	氣動角閥	ISO-KF NW 16	否	否
152-0025K	氣動角閥	ISO-KF NW 25	否	否
152-0040K	氣動角閥	ISO-KF NW 40	否	否
152-0050K	氣動角閥	ISO-KF NW 50	否	否
152-0063P	氣動角閥	ISO-通用型 NW 63	否	否
152-0080P	氣動角閥	ISO-通用型 NW 80	否	否
154-0100P	氣動角閥	ISO-通用型 NW 100	否	否
154-0160P	氣動角閥	ISO-通用型 NW 160	否	否
帶有ISO法蘭的150系列角閥氣動帶限位開關(guān)
152-1016K	氣動角閥	ISO-KF NW 16	是	否
152-1025K	氣動角閥	ISO-KF NW 25	是	否
152-1040K	氣動角閥	ISO-KF NW 40	是	否
152-1050K	氣動角閥	ISO-KF NW 50	是	否
152-1063P	氣動角閥	ISO-通用型 NW 63	是	否
152-1080P	氣動角閥	ISO-通用型 NW 80	是	否
154-1100P	氣動角閥	ISO-通用型 NW 100	是	否
154-1160P	氣動角閥	ISO-通用型 NW 160	是	否

150 系列閥門（續(xù)）

帶有ISO法蘭的150系列角閥氣動帶電磁閥*

153-0016K-XXXXX	氣動角閥	ISO-KF NW 16	否	是
153-0025K-XXXXX	氣動角閥	ISO-KF NW 25	否	是
153-0040K-XXXXX	氣動角閥	ISO-KF NW 40	否	是
153-0050K-XXXXX	氣動角閥	ISO-KF NW 50	否	是
153-0063P-XXXXX	氣動角閥	ISO-通用型 NW 63	否	是
153-0080P-XXXXX	氣動角閥	ISO-通用型 NW 80	否	是
155-0100P-XXXXX	氣動角閥	ISO-通用型 NW 100	否	是
155-0160P-XXXXX	氣動角閥	ISO-通用型 NW 160	否	是
*帶有ISO法蘭的150系列角閥氣動帶電磁閥和限位開關(guān)**
153-1016K-XXXXX	氣動角閥	ISO-KF NW 16	是	是
153-1025K-XXXXX	氣動角閥	ISO-KF NW 25	是	是
153-1040K-XXXXX	氣動角閥	ISO-KF NW 40	是	是
153-1050K-XXXXX	氣動角閥	ISO-KF NW 50	是	是
153-1063P-XXXXX	氣動角閥	ISO-通用型 NW 63	是	是
153-1080P-XXXXX	氣動角閥	ISO-通用型 NW 80	是	是
155-1100P-XXXXX	氣動角閥	ISO-通用型 NW 100	是	是
155-1160P-XXXXX	氣動角閥	ISO-通用型 NW 160	是	是

電磁閥

*注：在確定帶電磁閥的氣動閥門零件編號時(shí)，請先選擇所需的電壓和頻率，隨后決定擴(kuò)展零件編號。

零件編號示例: 155-1160P-24VDC
電壓和頻率	24 VDC	24 VAC 50-60 Hz	208 VAC 50-60 Hz	100-120 VAC 50 Hz; 110-130 VAC 60 Hz	210-240 VAC 50 Hz; 220-250 VAC 60 Hz
零件編號	-24VDC	-24V/50-60	-208V/50-60	-120V/50-60	- 220V/50-60

帶有CF法蘭的150系列角閥

零件編號	描述	連接方式	限位開關(guān)	電磁閥
帶有CF法蘭的150系列角閥手動
151-0016C	手動角閥	1-1/3" CF	否	否
151-0025C	手動角閥	2-1/8" CF	否	否
151-0040C	手動角閥	2-3/4" CF	否	否
151-0050C	手動角閥	3-3/8" CF	否	否
151-0063C	手動角閥	4-1/2" CF	否	否
151-0080C	手動角閥	4-5/8" CF	否	否

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