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MKS擁有波紋管密封真空角閥的完整產品系列，對ISO-KF、ISO-通用型、ASA、CF法蘭和焊樁產品，其尺寸從3/4" 到6"都有。150系列閥門具有長的設計壽命，適用于高頻度使用的場合。其固有簡潔性和出色的設計使它們可以應用于半導體生產設備中，在這些設備中往往存在著化學污染和顆粒沾污。該系列產品還可以用于等離子物理和核加速器等領域中的高級研究應用中。它通常具有數(shù)十萬個開/關周期的工作壽命。

150 系列閥門

帶有ISO法蘭的150系列角閥

零件編號	描述	連接方式	限位開關	電磁閥
帶有ISO法蘭的150系列角閥手動
151-0016K	手動角閥	ISO-KF NW 16	否	否
151-0025K	手動角閥	ISO-KF NW 25	否	否
151-0040K	手動角閥	ISO-KF NW 40	否	否
151-0050K	手動角閥	ISO-KF NW 50	否	否
151-0063P	手動角閥	ISO-通用型 NW 63	否	否
151-0080P	手動角閥	ISO-通用型 NW 80	否	否
帶有ISO法蘭的150系列角閥氣動
152-0016K	氣動角閥	ISO-KF NW 16	否	否
152-0025K	氣動角閥	ISO-KF NW 25	否	否
152-0040K	氣動角閥	ISO-KF NW 40	否	否
152-0050K	氣動角閥	ISO-KF NW 50	否	否
152-0063P	氣動角閥	ISO-通用型 NW 63	否	否
152-0080P	氣動角閥	ISO-通用型 NW 80	否	否
154-0100P	氣動角閥	ISO-通用型 NW 100	否	否
154-0160P	氣動角閥	ISO-通用型 NW 160	否	否
帶有ISO法蘭的150系列角閥氣動帶限位開關
152-1016K	氣動角閥	ISO-KF NW 16	是	否
152-1025K	氣動角閥	ISO-KF NW 25	是	否
152-1040K	氣動角閥	ISO-KF NW 40	是	否
152-1050K	氣動角閥	ISO-KF NW 50	是	否
152-1063P	氣動角閥	ISO-通用型 NW 63	是	否
152-1080P	氣動角閥	ISO-通用型 NW 80	是	否
154-1100P	氣動角閥	ISO-通用型 NW 100	是	否
154-1160P	氣動角閥	ISO-通用型 NW 160	是	否

150 系列閥門（續(xù)）

帶有ISO法蘭的150系列角閥氣動帶電磁閥*

153-0016K-XXXXX	氣動角閥	ISO-KF NW 16	否	是
153-0025K-XXXXX	氣動角閥	ISO-KF NW 25	否	是
153-0040K-XXXXX	氣動角閥	ISO-KF NW 40	否	是
153-0050K-XXXXX	氣動角閥	ISO-KF NW 50	否	是
153-0063P-XXXXX	氣動角閥	ISO-通用型 NW 63	否	是
153-0080P-XXXXX	氣動角閥	ISO-通用型 NW 80	否	是
155-0100P-XXXXX	氣動角閥	ISO-通用型 NW 100	否	是
155-0160P-XXXXX	氣動角閥	ISO-通用型 NW 160	否	是
*帶有ISO法蘭的150系列角閥氣動帶電磁閥和限位開關**
153-1016K-XXXXX	氣動角閥	ISO-KF NW 16	是	是
153-1025K-XXXXX	氣動角閥	ISO-KF NW 25	是	是
153-1040K-XXXXX	氣動角閥	ISO-KF NW 40	是	是
153-1050K-XXXXX	氣動角閥	ISO-KF NW 50	是	是
153-1063P-XXXXX	氣動角閥	ISO-通用型 NW 63	是	是
153-1080P-XXXXX	氣動角閥	ISO-通用型 NW 80	是	是
155-1100P-XXXXX	氣動角閥	ISO-通用型 NW 100	是	是
155-1160P-XXXXX	氣動角閥	ISO-通用型 NW 160	是	是

電磁閥

*注：在確定帶電磁閥的氣動閥門零件編號時，請先選擇所需的電壓和頻率，隨后決定擴展零件編號。

零件編號示例: 155-1160P-24VDC
電壓和頻率	24 VDC	24 VAC 50-60 Hz	208 VAC 50-60 Hz	100-120 VAC 50 Hz; 110-130 VAC 60 Hz	210-240 VAC 50 Hz; 220-250 VAC 60 Hz
零件編號	-24VDC	-24V/50-60	-208V/50-60	-120V/50-60	- 220V/50-60

帶有CF法蘭的150系列角閥

零件編號	描述	連接方式	限位開關	電磁閥
帶有CF法蘭的150系列角閥手動
151-0016C	手動角閥	1-1/3" CF	否	否
151-0025C	手動角閥	2-1/8" CF	否	否
151-0040C	手動角閥	2-3/4" CF	否	否
151-0050C	手動角閥	3-3/8" CF	否	否
151-0063C	手動角閥	4-1/2" CF	否	否
151-0080C	手動角閥	4-5/8" CF	否	否

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