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IMM-100 薄膜沉積監(jiān)測儀讓卓yue變得可重復(fù)
通過精 確的速率和厚度監(jiān)測
功能
INFICON 鎖模技術(shù)提供zui長的晶體壽命,并確保即使在非常低的速率下也能實現(xiàn)zui穩(wěn)定、zui高分辨率和厚度測量
通過上佳的QCM厚度測量實現(xiàn)產(chǎn)量zui大化
單通道速率和厚度監(jiān)測器,無需不必要的附加功能,以zui大限度地降低成本
±0.0035 Hz,超過 100 ms 樣本
用于無縫集成的 EtherCAT 通信
緊湊的尺寸,通過節(jié)省工具空間來zui大限度地降低集成成本
專家應(yīng)用支持,能夠討論應(yīng)用需求,并提供比競爭對手更大的支持
符合 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)
典型應(yīng)用
有機(jī)發(fā)光二極管應(yīng)用
IMM-100 薄膜沉積監(jiān)測儀
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