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PEV-1--壓電閥
  • PEV-1--壓電閥
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貨物所在地:浙江杭州市

地: 美國

更新時間:2024-11-18 21:00:07

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PEV-1壓電閥是為了適用于要求精確控制氣體流量的場合,主要應(yīng)用領(lǐng)域包括:磁控濺射,光學鍍膜,太陽能電池,ITO,等離子體刻蝕等。它和MAXTEK的MV-112同是孿生兄弟。

PEV-1壓電閥主要技術(shù)特點:

1、控制模式:開環(huán)控制和閉環(huán)控制。

2、易于集成:可與國產(chǎn)自動壓強控制儀配套使用,來實現(xiàn)閉環(huán)控制,達到穩(wěn)定壓強的目的,性價比高,同時亦可選擇進口壓強控制儀。

3、響應(yīng)時間快。

4、性能穩(wěn)定,壓電陶瓷片壽命長。

5、無機械連接件,無伺服馬達,無磨損,在斷電的情況下可實現(xiàn)自動關(guān)閉的特點。

技術(shù)參數(shù):

1、流量0-500Sccm 。

2、響應(yīng)時間2毫秒。

3、集成漏率5×10-8sml/sec 。

4、驅(qū)動電壓0-100VCD/0-24VDC 。

5、電路連接標準BNC接頭(Q9)。

6、溫度范圍100C至600C 。

7、zui大入口壓強50PSI。

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