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1、無刷電機驅(qū)動。2、氮氣溫度控制。3、轉(zhuǎn)軸氮氣密封。4、可提用戶特殊要求配置。5、去離子水電阻率監(jiān)控功能。6、故障診斷、顯示、報警功能。7、硅片甩干機具有鎖蓋防護功能。8、腔體和轉(zhuǎn)架采用316不銹鋼,電化學(xué)拋光處理。9、彩色液晶觸摸屏實時監(jiān)控,可存儲多種工藝菜單。10、硅片甩干機主要應(yīng)用于太陽能電池和半導(dǎo)體硅片等的沖洗甩干工藝環(huán)節(jié),具有容量大、效率高的特點。
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