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純水又稱純凈水，是指以符合生活飲用水衛(wèi)生標準的水為原水，通過電滲析器法、離子交換器法、反滲透法、蒸餾法及其他適當?shù)募庸し椒?，制得的密封于容器?nèi)，且不含任何添加物，無色透明，可直接飲用的水。市場上出售的太空水，蒸餾水均屬純凈水。

超純水是在純水的基礎(chǔ)上進一步將水中的導(dǎo)電介質(zhì)幾乎*去除，又將水中不離解的膠體物質(zhì)、氣體及有機物均去除至很低程度的水。電阻率大于18MΩ*cm，或接近18.25MΩ*cm極限值。超純水是一般工藝很難達到的程度，可以將微濾技術(shù)、超濾技術(shù)、反滲透技術(shù)、EDI技術(shù)，離子交換技術(shù)中的兩種及以上的技術(shù)，通過合理的工藝設(shè)計，設(shè)備選型，方可制造出超純水，電阻率可達18.20MΩ*cm。

要獲得超純水就需要超純水儀設(shè)備，超純水儀主要應(yīng)用對水質(zhì)要求相當高領(lǐng)域。在化學有機物或無機物痕量分析中，例如總有機碳（TOC）測量，以及儀器分析方法如HPLC，ICP-MS和IC.生命科學應(yīng)用中對水質(zhì)要求更高。

超純水機是在反滲透技術(shù)的基礎(chǔ)上，添加了離子交換和終端處理技術(shù)。有些還有深度離子除鹽、超濾和UV光氧化作用設(shè)備，出來的水水質(zhì)優(yōu)于國標GB/T6682-2008實驗室一級用水的水質(zhì)要求。