威卡高純度應(yīng)用傳感器WU-20, WU-25, WU-26將數(shù)字傳感器概念與類似模擬的輸出信號(hào)相結(jié)合，以便提供當(dāng)今市場(chǎng)要求所需的安全和最準(zhǔn)確的壓力測(cè)量。壓力測(cè)量，基于真正的真空參考，干擾屏蔽和信號(hào)的電子措施噪音消除確保高精度壓力測(cè)量和出色的長(zhǎng)期穩(wěn)定性。主動(dòng)溫度補(bǔ)償降低了影響改變傳感器上的溫度，即使在溫度波動(dòng)較大的應(yīng)用中也能實(shí)現(xiàn)安全操作，例如 氣體膨脹情況下的焦耳-湯姆遜效應(yīng)。WU-25 型（流通型）和 WU-26 型（表面安裝）傳感器專門設(shè)計(jì)用于維持安裝過(guò)程中經(jīng)常產(chǎn)生的扭轉(zhuǎn)應(yīng)力。薄膜傳感器的特殊設(shè)計(jì)消除了風(fēng)險(xiǎn)由于過(guò)程連接處的負(fù)載或傳感器故障焊接接頭。

應(yīng)用

■ OEM工具用氣體面板

■ 半導(dǎo)體、平板顯示和光伏產(chǎn)業(yè)

■ 特殊和大宗氣體供應(yīng)

特殊功能

■ 高精度壓力測(cè)量 0.15 % RSS

■ 優(yōu)異的長(zhǎng)期穩(wěn)定性

■ 信號(hào)噪聲消除和屏蔽

■ 主動(dòng)溫度補(bǔ)償

■ ATEX 和 IECEx 2 區(qū)認(rèn)證

第一類，分區(qū)。 2、A、B、C、D組
技術(shù)參數(shù)：

精度規(guī)格

符合 IEC 61298-2 的 BFSL 非線性

對(duì)于測(cè)量范圍 > 2 bar ≤ 量程的 0.1 %

對(duì)于測(cè)量范圍 ≤ 2 bar ≤ 量程的 0.15 %

準(zhǔn)確度 → 見“Max. 測(cè)量偏差"

最大限度。 測(cè)量偏差

RSS（和方根） ■ ≤ 0.15 % 的跨度

■ ≤ 0.4 % 量程，測(cè)量范圍 ≤ 2 bar

根據(jù) IEC 61298-2 ■ ≤ 量程的 0.3 %

■ ≤ 0.6 % 量程，測(cè)量范圍 ≤ 2 bar

零點(diǎn)設(shè)置

電流輸出 -3.5 ... +3.5 % 量程（通過(guò)電位計(jì)）

電壓輸出 -2 ... +3.5 % 量程（通過(guò)電位計(jì)）

符合 IEC 61298-2 的不可重復(fù)性 ≤ 量程的 0.12 %

-20 ... +80 °C [-4 ... +176 °F] 時(shí)的平均溫度系數(shù)（主動(dòng)補(bǔ)償）

零點(diǎn) ≤ 0.1 % of span/10 K

跨度 ≤ 0.15 % 跨度/10 K

符合 IEC 61298-2 的長(zhǎng)期漂移

典型值 ≤ 0.25 % 量程，在參考條件下

測(cè)量范圍 ≤ 2 bar ≤ 量程的 0.4 %

參考條件 符合 IEC 61298-1