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高通量薄膜制備技術(shù)研發(fā)

閱讀：1088 發(fā)布時(shí)間：2021-4-15

　　材料對(duì)于推動(dòng)生產(chǎn)力發(fā)展和社會(huì)進(jìn)步起著舉足輕重的作用。關(guān)鍵材料的研發(fā)周期更是直接決定了相關(guān)領(lǐng)域的發(fā)展進(jìn)程。隨著科技發(fā)展，對(duì)材料的功能和性能要求越來(lái)越高。傳統(tǒng)材料研發(fā)手段也越來(lái)越難以滿足現(xiàn)代社會(huì)生產(chǎn)發(fā)展的需求。以高溫超導(dǎo)材料為例，超導(dǎo)轉(zhuǎn)變溫度高的材料往往組分結(jié)構(gòu)十分復(fù)雜。隨著組分增多，獲得準(zhǔn)確的組分依賴的相圖的工作量呈幾何級(jí)數(shù)增長(zhǎng)。另外，采用傳統(tǒng)的實(shí)驗(yàn)手段很難準(zhǔn)確合成并重復(fù)獲得到某個(gè)特定的組分，而這往往是研究量子相變，破解高溫超導(dǎo)機(jī)理的關(guān)鍵。

　　材料基因組技術(shù)的出現(xiàn)為快速構(gòu)建準(zhǔn)確的材料相圖，縮短材料的研發(fā)周期帶來(lái)了希望。組合薄膜制備技術(shù)作為材料基因組核心技術(shù)之一經(jīng)歷了三個(gè)發(fā)展階段，即共磁控濺射技術(shù)，陣列掩膜板技術(shù)和組合激光分子束外延技術(shù)。

　　對(duì)于連續(xù)組分薄膜性質(zhì)的研究來(lái)說(shuō)，實(shí)際的測(cè)量位置與樣品組分是一一對(duì)應(yīng)的，失去了位置坐標(biāo)就失去了組分的信息。因此，發(fā)展更加準(zhǔn)確的高通量薄膜制備和原位表征手段十分必要，并對(duì)包括超導(dǎo)材料在內(nèi)的多個(gè)前沿研究領(lǐng)域具有重要的意義。

　　VTC-5RF是一款5靶頭的等離子射頻磁控濺射儀，針對(duì)于高通量MGI(材料基因組計(jì)劃)薄膜的研究。特別適合用于探索固態(tài)電解質(zhì)材料，通過(guò)5種元素，按16種不同配比組合。

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