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　　等離子鍍膜設備是一種小型射頻（RF）等離子磁控濺射鍍膜儀器系統(tǒng)。該系統(tǒng)包括所有必需的配件，如300W（13.5mhz）射頻電源、2"磁控濺射頭、石英真空室、真空泵和溫度控制器。它是制作一些金屬和非金屬的又好又便宜的實驗幫手。

　　在鍍膜領域，鍍膜后薄膜樣品的厚度是影響薄膜性能的重要因素。因此，在評價薄膜樣品的性能時，需要對薄膜樣品在不同厚度下的性能進行測試。等離子鍍膜設備集成了真空鍍膜系統(tǒng)和手套箱系統(tǒng)，可在高真空蒸發(fā)室中完成薄膜蒸發(fā)，并將蒸發(fā)后的樣品在手套內的高純惰性氣體氣氛中儲存、制備和檢測盒子。蒸發(fā)鍍膜與手套箱相結合，實現(xiàn)了蒸發(fā)、封裝、測試等過程的全封閉生產，使整個薄膜生長和器件制備過程高度集成在一個環(huán)境氣氛可控的完整系統(tǒng)中，消除了不穩(wěn)定因素的影響。有機大面積電路制備過程中的大氣環(huán)境因素，保證了高性能、大面積有機光電器件和電路的制備。

　　等離子鍍膜設備精抽太慢的原因有哪些？

　　1、擴散泵可能不太給力。

　　解決辦法：可以用電離規(guī)單接到擴散泵泵口，看擴散泵單抽能達到多少，要看抽的時間和極限，然后進行對比。

　　2、真空系統(tǒng)有微漏。

　　解決辦法：這就需要慢慢檢漏，看看保真空時間能不能達不達標。

　　3、箱體太臟，太臟放氣量就大了。

　　解決辦法：清洗箱體

　　4、前級真空度不行，機械泵或機械泵加羅茨泵的極限真空不行。

　　解決辦法：可以用電阻規(guī)單獨檢測前級管道。