性能特點

長效穩(wěn)定X銅光管

手動開關(guān)樣品腔，操作安全方便

三重安全保護模式

整體鋼架結(jié)構(gòu)、外型高貴時尚

FP軟件，無標(biāo)準(zhǔn)樣品時亦可測量

半導(dǎo)體硅片電制冷系統(tǒng)，摒棄液氮制冷

采用信噪比增強器（SNE）

內(nèi)置高清晰攝像頭，方便用戶隨時觀測樣品

脈沖處理器，數(shù)據(jù)處理快速準(zhǔn)確

技術(shù)指標(biāo)

型號：THICK600五金端子電鍍金膜厚儀

光管高壓：5-50kV

管流：50μA-1000μA

環(huán)境溫度：15℃-30℃

環(huán)境濕度：30%-70%

分析范圍： Ti-U，可分析3層15個元素

分析厚度：一般0.05-30um（不同元素厚度有所不同）

工作電壓：AC 110V/220V（建議配置交流凈化穩(wěn)壓電源）

測量時間：40秒（可根據(jù)實際情況調(diào)整）

探測器分辨率：（160±5）eV

準(zhǔn)直器：配置不同直徑準(zhǔn)直孔，小孔徑φ0.2mm

儀器尺寸：610(L) x 355 (W) x 380（H） mm

儀器重量：30kg