目錄:科睿設(shè)備有限公司>>超高真空組件>> 電子束蒸發(fā)源-真空組件
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更新時(shí)間：2024-08-28 07:53:23瀏覽次數(shù)：5292評(píng)價(jià)
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| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子,電氣,綜合 |
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對(duì)于使用常用熱蒸發(fā)技術(shù)非常難蒸發(fā)的材料,電子束蒸發(fā)是一種有效的蒸發(fā)手段.通過高能電子束射向靶材來升高靶材溫度.相比于通常輻射或間接電阻加熱方式,使用這種方式來達(dá)到溫度沒有本質(zhì)的限制。
我司提供的這款電子束蒸發(fā)源是由高質(zhì)量，與高真空兼容材料構(gòu)成，并且可以烘烤至250℃。
電子束蒸發(fā)源-真空組件
應(yīng)用領(lǐng)域：
表面科學(xué)
金屬薄膜接觸腳
MBE摻雜應(yīng)用
型號(hào)參數(shù)：
多種不同型號(hào)提供不同功率的電子束蒸發(fā)源，最高500W，甚至按照客戶需要提供更高功率的電子束蒸發(fā)源。
提供Flux電流監(jiān)控，監(jiān)控蒸鍍速率。
坩堝容量小，節(jié)約靶材，提供最小0.21 mm3，最大1000 mm3的坩堝。
在高真空中，可以烘烤至250℃。
自動(dòng)化軟件控制；
手動(dòng)/馬達(dá)驅(qū)動(dòng)擋板；
占用腔體空間小
冷卻水流量小
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)
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