恒流20～5,000cc/min，無須外置適配器

恒壓  1～5,000cc/min，無須外置適配器

精度

流量顯示

恒流控制

恒壓控制

設(shè)定流量的±5％或3cc/min，取較大值

設(shè)定流量的±5％或3cc/min，取較大值

背壓的±10％

背壓補(bǔ)償能力

8小時(shí)運(yùn)行

5000cc/min達(dá)12英寸H2O背壓

4000cc/min達(dá)20英寸H2O背壓

3000cc/min達(dá)30英寸H2O背壓

2000cc/min達(dá)30英寸H2O背壓

1000cc/min達(dá)35英寸H2O背壓

450～1000cc/min達(dá)40英寸H2O背壓

20～449cc/min達(dá)25英寸H2O背壓

操作溫度

存儲(chǔ)溫度

充電溫度

 0℃～45℃

-20℃～45℃

5℃～40℃

操作濕度

存儲(chǔ)濕度

 5～95%，不凝結(jié)

5～98%，不凝結(jié)

EN 1232 Compliant

本質(zhì)安全

ATEX/IECEx

Class I, Div 1 Groups A, B, C, D, E, F, and G; Class II, Div 1 Zone 0;

II 1 G Ex ia IIC T4

ATEX 94/9/EC EMC 2004/108/EC (RFI) LVD 2006/95/

EC RoHS Compliant